中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293640263 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、高度な半導体加工のために設計されたエッチャー/アッシャーです。標準のTEL Indyモデルへのアップグレードであり、精密真空チャンバ、プロセスステーション、自動プロセスコントローラで構成されています。このエッチャー/アッシャーは、半導体デバイスの製造に使用されるドライエッチング処理を容易にします。TEL INDYPLUSは、リソグラフィ、フォトレジストアッシング、ドライエッチング、イオン注入、イオンビーム表面処理に活用されています。これらの作業で使用されるガスや混合物を扱うことができ、サブミクロンパターンを解決するための高速、高精度のグローバルアライメントを提供します。このエッチャー/アッシャーは、高度なプロセスを使用して、高品質のサーフェスで複数の領域を均一にエッチングします。高速グローバルアライメント顕微鏡、200nmステージ移動精度、ドリフト補償機能を備えています。東京エレクトロンINDY PLUSは、エッチング処理の再現性に優れ、並列エッチングのスループットも向上しています。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSのチャンバーは、標準のIndyエッチャーや他のエッチャー/アッシャーモデルと比較して、10mTorr以下のベースプレッシャーを実現し、より短い避難時間を提供します。このチャンバーには、AC誘導マグネトロンスパッタリング装置と熱支援CVD金属蒸着装置が装備されています。TOKYO ELECTRON Indy Plusは、ガスフィルトレーションシステムと複数のガス供給ユニットを備えたガスシャワー装置により、最大300mmのウェーハに対応し、クリーンな環境を維持します。この機械は、チャンバーに汚染がないことを保証し、エッチング精度とスループットを向上させます。Indy Plusは高アスペクト比エッチングが可能で、厚さ数百ナノメートルまでのエッチングも可能です。このエッチャー/アッシャーは、複数の材料を一度に処理することができ、さまざまなプロセス用途に適しています。さらに、INDY PLUSは、IPECエッチング化学の全範囲に対応しています。INDYPLUSはユーザーフレンドリーで、改善のためのアップグレード可能な設計を提供し、多目的エッチャー/アッシャーをお探しの方には費用対効果の高い選択肢となります。エッチャー/アッシャーには、人員の安全を確保し、潜在的な事故を防ぐための安全機能も装備されています。