中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293627973 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、日本を拠点とする三菱UFJフィナンシャルグループの大手半導体装置メーカーであるTELが開発したエッチャー（別名アッシャー）です。最新の技術を組み合わせ、高精度なエッチングと包括的な機能を提供し、さまざまな業界のお客様のニーズに応えます。TEL INDYPLUSは、使いやすく費用対効果の高いプラットフォームで、細かい機能サイズと高精度な平坦性の精密エッチングを提供します。東京エレクトロンINDY PLUSは、VMCVD （Vaporized Vapor-Metal Chemical Vapor Deposition）プロセスを使用してウェーハ表面をフォトレジストなどでコーティングし、INDY PLUSでエッチングしたクオーツコールドウォールエッチャーです。INDYPLUSは、リバースイオンミリング（RIM）、イオンミリング（IM）、ケミカルメカニカルプランアライゼーション（CMP）など、さまざまなエッチング技術を提供しています。特定のモデルでは、最大20,000オーングストローム/秒（A/秒）のエッチング速度が利用可能で、高精度と解像度を提供します。TOKYO ELECTRON Indy Plusは、高度なプロセス制御やデジタルオートメーションなど、さまざまな機能とオプションを備えています。オンボードの高度なプロセス制御システムにより、ユーザーはリアルタイムでエッチングパラメータを調整し、エッチングプロセスを最適化して精度と再現性を向上させます。デジタルオートメーションは、柔軟なエラーチェック機能とオートメーションモジュールを提供し、ユーザーは簡単にエッチプロセスをプログラムし、プロセスの変更を追跡することができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSの高度な安全機能をご利用いただけます。その複数の安全機能には、安全インターロック付きの囲まれたチャンバー、ガードアクセスパネル、緊急停止スイッチ、および緊急自動シャットダウンシステムが含まれます。Indy Plusには、温度センサーや圧力センサーなど、さまざまな診断機能があり、適切な動作条件を確保してエッチング結果を得ることができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSはメンテナンスが簡単で使いやすい設計です。その帯電防止および防振設計は、破片やほこりの汚染から機械を保護するのに役立ちますが、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、迅速で簡単なセットアップと操作が可能です。TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、様々なTOKYO ELECTRONの真空管理システムとも互換性があり、包括的で柔軟な真空システムを提供します。これらの機能と3年間の保証を組み合わせることで、TEL INDY PLUSはエッチングのニーズに最適です。