中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293627608 を販売中
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ID: 293627608
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Furnace, 12"
Process: ALDZROX
Reactor: Boat rotation
Furnace:
Loading area light: White (LED)
Wafer / Carrier handling: Fork material-Al2O3 + Peek
Facilities: Furnace exhaust connection poi: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Furnace (Exhaust / Box, Gas / Box: Main-Fab)
Power box: Sub-Fab
Gas distribution system:
IGS Type: IGS 1.125" W-seal rail-mount
IGS Maker: FUJIKIN
Tubing bends: Bend (Less than 90°)
IGS Final filter-PALL
IGS Regulator: CKD
IGS MFC: AE / Digital
IGS Press transducer: NAGANO
Gas facilities:
Gas VENT connection point: Bottom connection
Exhaust VENT connection point: Bottom Connection
Gas unit exhaust connection point: Top connection
Process gas exhaust connection: Bottom connection
Exhaust :
Vacuum gage:
Press control: MKS (Hot) Capacitance manometer
Press monitor: MKS (Hot) Capacitance manometer
Pump monitor: MKS (Hot) Capacitance manometer
Main valve-CKD-Hi-speed VEC
Vacuum pressure controller: CKD-VEC
Heater model:
Low temperature VMM-56-201 4 Zone/150-600C
Without RCU
Interface specification, Factory automation system:
Carrier ID reader writer type: RF
CIDRW Lower load port: Read
Interface:
Signal tower model: LOUGWB-24-4
Tower as follows: LOUGWB-24-4
(2) LOUGWB-24-3, Default = 1
Signal tower colors: Red / Yellow / Green / Blue
Tower as follows: Red / Yellow / Green / Blue
(2) Red / Yellow / Green
Signal tower: Front
Front operation panel
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / Orange (Standard)
Pressure display unit: MPa / Torr
Cabinet exhaust pressure display: Pa
No auto shutter
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、さまざまなサイズのウェーハを加工する半導体業界で使用される強力なエッチャー/アッシャーです。最先端のタッチパネルと省エネ設計により、電気コストを削減し、迅速な加熱と冷却をサポートします。また、メモリに保存されている複数のレシピがあります。TEL INDYPLUSは、2インチから8インチまでのサイズの400mmおよび300mmウェーハ加工が可能です。高密度イオンビームエッチング、灰、エッチングCl2-based灰、ポリシリコンフィルムエッチング、薄膜成膜など、幅広い加工オプションを提供しています。また、ハイブリッドタイプの静電チャックを採用し、基板アッシングの均一性を向上させ、エッチングとアッシングの効率を最適化します。ロボットアームにより、迅速なウェハ転送が可能です。赤外線加熱制御システムを搭載しており、加工室の温度を維持することで変動を低減する設計となっています。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは、精密な再現性とエッチング/アッシングプロファイルの改善を実現する特殊なデジタルフィルム厚コントローラを採用しています。また、インチャンバーリターンガスモニター、過圧安全弁、安全インターロックなど、さまざまな安全機能を備えています。これらの機能に加えて、INDYPLUSには高度なウェットベンチ処理用の専用サンプリングチャンバーもあります。これは、高いプローブと制御の特性をテストし、測定するためのクリーンな環境を提供します。INDY PLUSは、半導体業界における幅広い製造ニーズを満たす、エントリーレベルの費用対効果の高いパワフルなエッチングソリューションです。ユーザーフレンドリーで、高いスループットと正確な結果を提供し、さまざまな種類のウェーハの大量処理に最適です。
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