中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293596083 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体デバイスの製造用に設計された完全自動エッチャー/アッシャーです。この装置は、石英、シリコン、アルミニウムなどの基板加工に使用できる、信頼性の高い最先端のエッチング/サーマル酸化ツールです。TEL INDYPLUSには、直感的で使いやすいタッチスクリーンコントロールパネルがあり、内部操作、設定条件、トラブルシューティングを簡単に監視できます。さまざまなシステムアラートとアラームを設定して、ユーザーに問題を通知できます。東京電子インジープラスは、プロセス制御されたガス分配ユニットと、加工室内の前駆体濃度をサンプリングする独自のin-situ法により、エッチング工程と気相化学の両方を精密に制御することができます。TEL Indy Plusには2つの加工チャンバーが装備されています。1つ目は基板チャンバーで、エッチング速度は圧力と温度によって制御されます。2つ目は、温度と時間によって酸化を制御できる熱酸化剤です。TOKYO ELECTRON Indy Plusは、1つのポケットパネルで最大4つの基板を収納でき、直径2インチから6インチまでのウェハサイズが可能です。この機械は、900°Cと-20°Cの温度で動作することができます。TEL INDY PLUSは、エッチングクリーニング、プロファイリング、および浅いトレンチ絶縁（STI）およびその他の高アスペクト比エッチング用の絶縁エッチングなど、複数のプロセスを1回の実行で実行できます。また、拡散や熱酸化など、エッチング後の様々なプロセスも行うことができます。このツールには、ガス排気、バッフル絶縁、サーマルシールドなどの安全性と環境保護機能も含まれています。全体として、INDYPLUSは、半導体製造に理想的な選択肢となるさまざまな利点と機能を備えた信頼性の高い汎用性の高いツールです。包括的なパラメータと機能を備えているため、高い精度と再現性を備えたさまざまなエッチングプロセスを実行するのに最適です。