中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293596082 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、集積回路（IC）製造工程で使用されるエッチャー/アッシャーで、材料を選択的に除去して基板上にゲート電極や相互接続配線などの特徴パターンを作成します。ローエッジの粗さと精密なプロファイル制御により、正確なフィーチャーサイズを実現する上で重要な役割を果たすツールです。TEL INDYPLUSは、イオン溶解プロセスを採用したウェットエッチング装置です。このシステムは、シリコン、アルミニウム、リン化ホウ素、石英などの有機材料と無機材料の両方を処理することができます。また、底面から基板上部まで、複数の層を一度にエッチングすることができ、IC製造において非常に汎用性の高いツールとなっています。TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、高度なプロセス制御や基板上に配置された小さな特徴を検出できる独自の赤外線機能認識ユニットなど、最先端の技術を搭載しています。このマシンは、強力なエッチング機能、および必要なマルチジェットイオンビームインプラントおよびレーザマシンにより、正確な機能サイズと形状も可能です。Indy Plusには、4。3インチのタッチスクリーンパネルを備えたユーザーフレンドリーなコントロールツールがあり、ユーザーはさまざまなプロセス条件を設定でき、シンプルで直感的に使用できます。アセットには、プロセスデータを収集し、各エッチングステップに関するリアルタイムのフィードバックを提供できる高速データ収集ユニットも含まれています。また、閉じ込められたガスや粒子の汚染による損傷から機器を保護するさまざまな防食対策を装備しています。これには、エッチングチャンバーから不純物をろ過して除去する包括的な濾過システムが含まれており、クリーンで正確なエッチング結果を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、IC製造において重要なツールであり、精度と再現性によりますます普及しています。このユニットは、エッジの粗さが低い精密なフィーチャーサイズと形状、および高度なプロセス制御機能を提供することにより、最高品質のICコンポーネントを製造するファブリケーターにとって有利なオプションを提供します。