中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293592996 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、半導体デバイスの製造に使用されるエッチャー/アッシャーです。ウェーハ上のフォトレジスト素材のエッチング/アッシュ層に使用され、ウェーハ上にさまざまな機能を作り出します。このプロセスはフォトリソグラフィとして知られており、半導体デバイスの製造における重要なステップです。TEL INDYPLUSは、VariBeam™のシングルコラム光学カラムを備え、優れた性能と精度を提供します。カラムは精密な形状の精密エッチングが可能です。高解像度、高いビーム電流でのエッチング機能、およびエッチプロセスツールの一般的な環境への統合により、高い汎用性を提供します。東京エレクトロンインディープラスには、25kVの電位絶縁バイアス電極、監視用の堅牢なシステム、エッチングやアッシング時の温度と大気の制御など、さまざまな機能があります。フォトレジスト層の正確で安定したエッチングとアッシングが可能です。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUSは、エッチングとアッシングプロセスが高品質であることを保証するために、オートバイアス校正とオートビーム電流校正を備えています。これらの機能により、オペレータはターゲット電圧、ビーム電流、プロファイルを設定でき、Indy Plusは自動的に最適化されるように調整します。最先端のコンピューター制御を使用して、INDYPLUSはエッチングおよびアッシング工程中に温度、酸度、圧力を測定および調整することもできます。これにより、各ウエハサイクルが再現可能で均一であることが保証されます。TEL Indy Plusエッチャー/アッシャーは、最高品質の正確なジオメトリを作成するための完璧なツールです。様々な工程で安定した動作を実現し、半導体製造用の信頼性と信頼性の高いツールとなっています。TELは、高品質な半導体デバイスの製造に業界標準を設定し、INDY PLUSエッチャー/アッシャーを提供することを誇りに思っています。