中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293587429 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plusは、高い精度と再現性を維持しながら、生産スループットを向上させるために設計されたエッチャー/アッシャーです。アッシャーはコンパクトなフットプリントを採用し、簡単な設置と迅速な切り替えが可能です。多種多様なエッチング加工が可能で、金属トレース、PCB、 MEMSなど様々な用途に使用できます。TEL INDYPLUSには、動的なリアルタイムフィードバックシステムと、再現可能なプロセスを備えた高速で正確なプロセスウィンドウが装備されています。エッチャーのサブステージは、X-Y-とZ軸の両方の動きを提供し、最小パターンサイズの3µmを備えたフィーチャーを正確かつ再現可能にパターニングします。サブステージは、高い加速度、優れた位置精度、滑らかで静かな動きを持っています。プロセス環境やエレクトロマイグレーションによる真空圧力による誤差を軽減するために、エッチャーには超精密PIDリニアアクチュエータがあり、安定した正確な性能を提供します。高度なイメージング機能により、迅速なアライメントと生産スループットの向上を実現します。TOKYO ELECTRON INDY PLUSには、カスタマイズ可能なプロセスレシピが用意されており、さまざまなエッチング化学品を使用できます。直感的なユーザーインターフェイスにより、すべてのパラメータとレシピに簡単にアクセスでき、セットアップとプロセス制御が簡素化されます。また、Smart Erosive Monitorが内蔵されており、リアルタイムモニター、ビジュアライズ、およびエッチング処理条件を記録し、高い反復可能なエッチング条件を可能にします。このシステムには高度な自動調整アルゴリズムも搭載されており、ローカルまたは製品ライン全体で最適なパフォーマンスを維持するために、レシピのセットアップと調整をさらに簡素化します。エッチャーは、生産現場でも研究開発施設でも、さまざまな産業環境で使用することができます。内蔵の安全機能は、動作のための安全で安全なプラットフォームと低圧または電力の中断の場合に自動シャットオフ機能をユーザーに提供します。TEL Indy Plusは、CEおよびRoHS規制にも認定されています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUSは信頼性が高く、直感的で手頃な価格のエッチャー/アッシャーとして設計されています。これは、生産スループットの向上、正確で再現性のあるプロセス、および全体的に優れたエッチング体験をユーザーに提供する、幅広い生産アプリケーションに最適です。