中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293798907 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、TEL （TOKYO ELECTRON）が設計・製造したエッチャー/アッシャーです。エッチングやアッシングプロセスの半導体デバイス製造に使用されています。TEL INDY PLUS B-Mは、高解像度と優れた性能により、優れたプロセス性能を提供します。エッチャー/アッシャーは、ウェーハサイズとプロセスの柔軟性が高く、特定のプロセスに適したツールを選択できます。このツールは、TEL/TOKYO ELECTRON独自の高解像度プロジェクションオプティクスと精密モーションコントロールを組み合わせ、すべてのプロセスタイプで優れた精度の過剰エッチング性能を実現します。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-Mは、機械設計およびソフトウェアツールを通じて、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスの厳しい要件を満たすように設計されています。浅いトレンチ絶縁（STI）、深い反応イオンエッチング（DRIE）、導電性および絶縁性エッチング、指向性エッチング、プラスチックエッチングなど、幅広いエッチングおよびアッシング用途に使用できます。TEL INDY PLUS-B-Mは、カスタムメイドのセラミックピンタイプのローディングとアンロードカセットを採用し、ウェーハのローディングとアンロードを強化しています。セラミックピンタイプのローディングとアンロードカセットも、ウェハの準備に伴うダウンタイムを削減します。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-Mは、高解像度プロジェクションオプティクスにより、エッチングおよびアッシング処理において優れた性能を発揮するよう設計されています。また、Webベースのフィールドサービス機能も備えており、ユーザーは診断情報にリモートからアクセスできます。高度なソフトウェアツールにより、ユーザーはプロセスに適切なパラメータを簡単に選択し、システムのパフォーマンスを効果的に監視できます。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-Mは、堅牢な設計と信頼性の高い部品により、安全で信頼性の高いシステムです。また、遠隔監視機能も備えているため、システムの問題を迅速かつ正確に診断することができます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-Mは、高解像度光学、精密モーションコントロール、および信頼性の高い部品により、優れたプロセスパフォーマンスを提供する高度なエッチャー/アッシャーです。リモートモニタリングも可能で、Webベースのフィールドサービス機能も備えています。