中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293763487 を販売中
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ID: 293763487
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2015
Vertical furnace, 12"
Process: Pyro
Air valve: CKD
VOS-56-101PT Heater
Automation system
Process chamber
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Gases: HCL, H2, O2, N2
Load lock system
Storage
4-Color signal tower
Carrier transfer
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Manufold scavenger
(2) Boat transfers
Boat stage
Manifold
Utility box:
WAVES Controller
GFC Display
Operation panel
Data I/O
Hardware switch
Gas unit
Cooling unit
APC controller
Temperature controller
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit with controller
N2 Purge unit
RF Power
Rapid cooling unit
Pump box
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Operating system: Linux
Power supply: 120/480 V, 3 Phase, Single phase
2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、マイクロコンポーネントの高精度・大量生産用に設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は専門の生産設備のために設計され、マスク、版のエッチングおよびashingのための信頼できるプロセス制御装置です。幅広いウェット処理作業に精密かつ再現性のある結果を提供することができます。TEL INDY PLUS B-Mは、1つのチャンバー内にプラズマ発生器を内蔵したマルチチャンバーエッチングセルと、もう1つのチャンバー内にエッチングするウェハを使用して動作します。これにより、プロセスを同時に実行でき、プロセスパラメータを高度に制御できます。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-Mは、ドアの開口部、過温度、圧力などの電子事故によるプロセス損傷から保護するさまざまな安全機能を備えています。さらに、このシステムはIEC 61010-1規格を満たす認証を取得しており、あらゆる実験室環境での信頼性の高い動作を保証しています。さらに、このユニットは高効率であり、プロセスの再現性は95％です。その結果、高スループット生産工程に適しており、複数のエッチング工程やアッシング工程において高精度な結果が得られます。高品質な結果に加えて、INDY PLUS B Mは多くの便利な機能を提供するように設計されています。たとえば、設定可能なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、自動エッチングプロセスのパラメータのプログラミングや、プロセスステータスの表示を容易にすることができます。さらに、そのインタフェースはEDX、 Rhythmlogicsなどのさまざまなシステムにリンクすることができます。これにより、社内およびサードパーティのシステムとの統合が可能となり、優れた柔軟性を提供します。このツールには、電圧、圧力、温度などの新しいプロセスステップパラメータの導入を可能にするユニークな設計も含まれています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-Mは、高精度で大容量のマイクロコンポーネントを作成する必要があるプロの生産設備に最適なエッチャー/アッシャーです。これは、信頼性の高いプロセス制御、高い再現性、および他のさまざまなシステムにリンクする能力を提供します。さらに、設定可能なグラフィカルユーザーインターフェイスや新しいプロセスステップパラメータを導入する機能などの便利な機能を提供し、優れた柔軟性を提供し、その種の最も汎用性の高いシステムの1つにします。
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