中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293670620 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、高度な機能を備えたハイエンドエッチャー/アッシャーで、産業用および科学用途に最適です。その特徴は次のとおりです。91 x 52 cmの加工チャンバー、119 x 62 cmに拡張するオプション。エッチングおよびアッシングプロセス用に最大120ワットの電力を可能にする電源です。最大21個のウエハを保持できるデュアル前加熱炉と後加熱炉。特定のエッチングおよびアッシングプロセス用に個別にプログラム可能な複数のRFジェネレータ出力。マイクロ波のashing機能、任意マイクロ波の機能と。リアルタイムで監視し、エッチングとアッシングのプロセス中に正確に圧力を制御するオプションを備えた高度な圧力システム。自動クリーニング、クリーニングガスの圧力、温度、流量を制御する能力を備えています。ユーザーが簡単にエッチングとアッシングのプロセスを設定し、プロセスの進行状況を監視できるタッチスクリーンユーザーインターフェイス。温度、圧力、流量など、加工チャンバの状態を監視するために使用できる複数のセンサー。付属のエアスクラバーシステムは、粒子状汚染物質を除去し、ウェーハの品質を向上させるのに役立ちます。TEL INDY PLUS B-Mは、メンテナンス要件が低く、平均寿命が長い、一貫して優れた結果を提供するように設計されています。また、使いやすさを念頭に置いて設計されており、明確で直感的なユーザーインターフェイスを備えています。その多数の機能により、エッチングやアッシングから高度なプロセス制御まで、産業および科学的用途に最適です。