中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293665668 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、半導体IC加工およびデバイス製造の製造施設で使用するために設計されたエッチャー（別名アッシャー）です。薄膜ICと厚膜ICの両方を製造できるシングルウェハプロセスツールです。このデバイスは、ステンレス鋼から構成され、2つの独立したカセットチャンバーとウェーハトランスファーチャンバーを備えています。TEL INDY PLUS B-Mは、1つのステーションで最大25個のウェーハを同時に処理でき、優れたスループットと比類のないエネルギー効率を実現します。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-Mには、PLC （Programmable Logic Controller）とユーザーフレンドリーなタッチスクリーンディスプレイを搭載し、オペレータに完全なプロセス制御を提供します。プロセスと結果は、内蔵のPCを介して追跡および記録することができます。さらに、デバイスは、さらなる処理のために外部コンピュータと接続することができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-Mには、独立したCFEEC （Chemical Flow Etch Engines&Coaters）ユニットが2台、サイドマウント20cmポッドが3台あります。CFEECユニットは、最大8つの異なるエッチングおよびデポジットレシピに加えて、最大3つの酸化膜薄膜エッチング操作オプションを備えており、エッチングとデポジションレートを完全に制御できます。さらに、このデバイスは完全にセグメント化されているため、ウェーハごとにプロセスレシピステップとパラメーターを個別に制御することができます。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、多くの高度なプロセスラインやアプリケーションに組み込むことができます。完全にカスタマイズ可能で、多種多様なアクセサリーを提供し、プラズマエッチング、ストリッピング、パッドのカプセル化、金属蒸着など、幅広い用途に使用できます。また、一貫したエッチングと預金レートを提供し、非常に高い再現性を提供することができます。全体として、TEL INDY PLUS B Mは、半導体IC製造およびデバイス製造におけるアプリケーションに、ユーザーフレンドリーな操作、正確なプロセス制御、効率的な操作を提供することを約束します。コンパクトでパワフルなデバイスであり、あらゆる生産設備にとって貴重な資産であることは間違いありません。