中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293656658 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M etcher（別名アッシャー）は、ハイスループット用途向けに設計された高度な半導体加工ツールです。この装置は、厚膜フォトレジストから薄膜金属相互接続まで、さまざまな基板に優れた制御と信頼性の高い精度を提供します。TEL INDY PLUS B-M etcherの特徴は、KOS（既知の酸化ストリップ）とMPT（マルチパターニング技術）の2つの加工技術を組み合わせたユニークなデザインです。KOS技術は、ウェーハ表面の有機汚染物質を除去することができる高速プラズマビームを使用しています。このプロセスは、酸化物除去、酸化物除去、酸化物除去などの用途に最適です。一方、MPT技術は、基板に高密度パターンをエッチングするために、低エネルギービームと蒸発ガスの高圧を使用します。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-Mは、品質を維持しながら加工時間を短縮できるように設計されています。これは、ユーザーが自分のニーズに応じてエッチング設定をプログラムすることができますコンピュータ制御ソフトウェアを利用しています。ソフトウェアはまた、ユーザーが迅速かつ正確に特定の種類のアプリケーションの設定を選択するのに役立つ高度なソフトウェアルーチンを統合します。また、TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-Mでは、パターン密度、タイミング、ガスタイプ、ガス流量など、特定のプロセスの設定を選択することができます。INDY PLUS B Mには、ユーザーがエッチング処理を制御および監視するのに役立つさまざまな周辺部品やセンサーも付属しています。ウェーハ温度を測定する高度な光学ピロメータを搭載し、エッチングパラメータを正確に調整することができます。また、衝突防止装置、高電圧円弧での災害を防ぐセンサー、問題発生時にオペレータに通知するアラームツールなど、さまざまな安全機能を備えています。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-Mエッチャーは、信頼性の高い正確なエッチング資産を求めている半導体企業や研究機関に最適です。高いスループットと精度で様々な基板を加工できるため、幅広い用途に最適なツールです。