中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293649725 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、最高レベルのエッチング精度、スピード、精度を提供するTELが開発した先進エッチング装置です。スループットの向上と精度の向上を目指す半導体企業、研究機関、大学に最適な高効率で信頼性の高いシステムです。TEL INDY PLUS B-Mは、浅い溝のエッチング、細かい欠陥、ナノメートルスケールの絶縁領域など、幅広い用途に対応できます。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-Mは、エッチャー、アッシャー、サセプターを組み合わせた3-in-1ユニットです。その3つのコアコンポーネントは、すべてのエッチングおよびアッシングプロセスで最適なパフォーマンスを確保するために、それぞれ高度な技術を備えています。また、正確なエッチング高さを確保するための高精度高さセンサーと、エッチング前後の部品を保管するための大型マルチプレート・ストッカーも搭載しています。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、表面品質とエッチング深さを向上させるための化学機械研磨ツールと、正確なガス分布を確保するための真空ツールを備えています。高度なエッチャーは0。5umの高精度を保証し、アッシャー資産は高速で大容量の機能を備えており、高速エッチングとアッシング操作を保証します。最大アッシング速度は333ウェハ/時、精度は0。5 μ mまでで、幅広いエッチングニーズに対応できます。また、INDY PLUS B-Mは、データやレポート情報へのアクセスを向上させる完全に自動化された操作を備えています。この装置は、自己診断により、損傷する可能性のあるエッチングプロセスを検出し、リアルタイムの修正とフィードバックを可能にします。これはユーザーフレンドリーで、オペレータは集中コンソールからパラメータを簡単に監視および制御できます。さらに、高度なソフトウェアと制御システムにより、エッチングプロセス全体で正確な制御と柔軟性を実現します。全体として、INDY PLUS-B-Mは、最先端の精度と精度を提供する高度で信頼性の高いエッチャー、アッシャー、サセプタシステムです。その汎用性とユーザーフレンドリーなデザインは、半導体製造工程や研究室など、多くの応用エッチングプロセスに最適です。