中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643277 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M Etcher/Asherは、バックエンドオブライン（BEOL）アプリケーション用のウェットベンチエッチャーおよびアッシャーで、幅広い製造プロセスに最適です。この高度なツールは、ストリッピング、エッチング、アッシングという3つの独立した自動化されたプロセスを中心に構築されています。ストリッピングは、シリコンウェーハから腐食層を最初に除去するために使用されるプロセスであり、その後のウェット処理に不可欠なステップです。このツールの高圧モードにより、最大9個のウェーハを一度に除去することができ、他の同等のツールよりも高速なスループットを実現します。エッチングはプロセスの次のステップであり、同時に誘電体、金属、または両方をエッチングするために高圧スプレーまたは浸漬機能を使用します。これは、さまざまなアプリケーションに合わせてカスタマイズできる2段階のプロセスを利用しています。エッチング速度はプログラミングによって調節可能で、リアルタイムで監視することができます。このツールのASHINGプロセスは、ウェーハ表面からフォトレジストコーティングを均一にエッチングして除去するように設計されています。このプロセスはCleanScribe Technologyを使用しており、フォトレジストを均一に除去しながらウェーハの損傷を防ぎます。専用のETCH/AIRコンプレッサーとDI/N2ガードを追加することで、チャンバーを清潔に保ち、信頼性の高い汚染のないプロセスを保証します。このツールは、さまざまなアップグレードと追加の可能性もあり、メーカー固有のアプリケーションに基づいてさらにカスタマイズすることができます。3段階のプロセスとカスタマイズ可能な構成を備えたTEL INDY PLUS B-M Etcher/Asherは、幅広いエレクトロニクス製造アプリケーションに最適です。高速で効率的な処理を提供し、特定のジョブの正確な仕様を満たすことができます。最新のエッチング/アッシュ技術を活用することにより、この高度なツールは、最も要求の厳しい正確な要件を迅速かつ確実に満たすことができます。