中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643274 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、半導体デバイスや部品の製造に使用される半導体製造プロセス用に設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、イオンエッチング、タングステンエッチング、化学蒸着（CVD）、急速熱アニーリング（RTA）、およびデバイス製造に使用されるその他の高度なプロセスなど、さまざまなプロセスが可能な高精度エッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーには、信頼性の高い誘電膜エッチャー、静電チャック、冷却ユニットが装備されています。この組み合わせにより、半導体デバイスおよびコンポーネントのエッチングおよびアニールに最適な効果が得られます。TEL INDY PLUS B-Mは、大容量のチャンバーサイズと高密度エッチング機能を備え、1リリースにつき最大20個のウェーハを処理できます。エッチャー/アッシャーには、プロセスを自動化し、生産の一貫性を確保する組み込みのSmart Process Controlが装備されています。また、Smart Process Controlを使用すると、機器をリアルタイムで監視することができ、エッチングおよびアニーリングプロセスパラメータを監視することができます。また、東京エレクトロンINDY PLUS-B-Mは、さまざまな温度範囲で使用することができ、幅広い用途に適しています。INDY PLUS-B-Mは、効率的で直感的なユーザーインターフェイスで設計されており、ユーザーはエッチングとアニーリングプロセスを簡単にナビゲートできます。また、異常を特定し、エッチングまたはアニーリングプロセス中に発生する可能性のある問題を診断することができる高度な診断システムが装備されています。このユニットには、エッチングまたはアニーリングプロセスのレシピを保存するためのデータベースと、比較目的のためのテスト結果を保存する機能が装備されています。東京エレクトロンINDY PLUS B-Mは、チャンバーの入り口の近くにある複数のイオン源を備え、特定のエッチングおよびアニール用途に簡単に挿入できます。エッチャー/アッシャーは、オペレータの安全を確保し、事故が発生するのを防ぐために高度な安全機械を備えています。さらに、エッチャー/アッシャーには、さまざまな材料を適切に処理するために必要なさまざまなパラメータを備えた検査および校正ソフトウェアを調整する自動ツールキャリブレーションも装備されています。全体として、INDY PLUS B-Mは、高度な半導体製造プロセス向けに設計された信頼性の高い高精度エッチャー/アッシャーです。これは、エッチング、タングステンエッチング、CVD、 RTA、およびデバイス製造に使用されるその他の高度なプロセスに迅速かつ効率的なプロセスを提供します。その大きなチャンバーサイズと高密度エッチング機能、組み込みのスマートプロセス制御と組み合わせて、それは、アプリケーションの広い範囲に適しています。さらに、高度な診断機能、データストレージ機能、自動モデルキャリブレーションを備えているため、半導体製造プロセスにおいて信頼性の高い選択肢となります。