中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643271 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、包括的なエッチングとアッシングのソリューションを提供するために設計された中規模のバッチエッチャー/アッシャーです。このマルチステーションエッチャー/アッシャーは、物理的および化学的エッチング/アッシングプロセスの両方に統合されたソリューションを提供し、最大6つの基板を同時に処理できます。これにより、ユーザーはスループット、品質、精度を向上させ、ダウンタイムを削減しながら、時間をかけて繰り返し可能なパフォーマンスで一貫した結果を提供することができます。このエッチャー/アッシャーは、高速反応加速、エッチング/アッシング条件の正確な制御、高度なプロセス監視など、幅広い機能を提供することで際立っています。すべてのユーザーフレンドリーな機能は、タッチスクリーンLCDモニターの直感的なインターフェイスを介して利用できます。このユーザーフレンドリーなシステムにより、エッチング/アッシングプロセスの実行パラメータを簡単に変更できます。ステップバイステップの指示により、簡単な設定とエッチング/アッシングレシピの最適化が可能です。TEL INDY PLUS B-Mは、さまざまなエッチング/アッシングプロセスで利用可能なガス源とガスの流れのさまざまなセットで、優れたプロセス柔軟性を提供します。AutostopTM機能を使用することで、設定されたプロセス時間の完了または所望のエンドポイントに到達した後、エッチング/アッシング操作を自動的に停止できます。これにより、プロセス条件を手動で監視および調整することなく、エッチング/アッシング歩留まりを最大化できます。さらに、高度な温度制御システムは、廃棄されたサンプルの量を最小限に抑えながら、信頼性の高い均一なエッチング/アッシング速度を保証します。このエッチャー/アッシャーは、最高の安全と衛生を念頭に設計されています。安全インターロックと先進センサーを内蔵した東京エレクトロンインディープラス-B-Mは、エッチング/アッシング工程の不具合を安全に検知し、化学物質の漏れや排気を監視・制御します。さらに、クローズドループ循環システムは、空気中の汚染のリスクを最小限に抑え、自動クリーニングサイクルにより、清潔で汚染のないワークスペースを確保します。結論として、TEL INDY PLUS B Mは、中規模のバッチエッチングおよび/またはアッシングプロセスに最適です。この高度なエッチャー/アッシャーは、ユーザーがエッチング/アッシングのニーズに合わせて最適化されたプロセスパラメータを設定できる高度な機能を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェース、柔軟なプロセスオプション、優れた安全設計により、TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、最も厳しい研究および産業用途に最適なエッチング/アッシングツールです。