中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293637534 を販売中
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ID: 293637534
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Diffusion furnace, 12"
Carrier stage body
Main body
Vacuum box
X-Precursor bubbler box
Option box
Heater
PWR Box:
XP41VP
(2) XP42VP
XS7VP
XP2
XS5
Pump interphone
MM1 INTFC 2XP1
XP56VP
XS73VP
(2) XT902 TMA SAFTY Unit
XS103VP
XP776VP
XT 514-8
XT516
XT739
(2) XT901 TMA SAFTY Unit
Interphone XP92VP
XT530
XP40VP
GRSO PCB CN1
GRSO CN2
(5) XT513
(11) XT514
(5) XT510
XT513-1
XT513-2
XT513-3
XT510-7
(2) XP 1028 EXC
XP 1023 EXC
XP 1024 EXC
XP 1025 EXC
T/C Unit
T/C Cable
T/C Box
Control box top cover
Gas piping duct
RCU Piping box
Piping
Gas detector
Smoke detector
T/C Junction box
G/Box exhaust connection
FNC TOP Exhaust connection
O2 Analyzer
Vacuum box cover-1
Control box fox jig
Cooling water piping
Facility connection cover
Scavenger cover
Heater panel
Vacuum box cover-2
Heater frame support
Option box cover
Shutter corer
Carrier stage TOP Cover front panel
Fixed tripod
Positioning iron piece
Screws
Manifold
Main valve
Vacuum piping P1
Vacuum piping P2
Vacuum piping P3
Vacuum piping P4
Vacuum piping P5 (Bellow)
Inner tube support ring
Pedestal plate
Center ring
Outer tube lock ring
Boat rotate support
Inner tube lock ring
Outer tube seal ring
Manifold heater
Vacuum piping tape heater
Manifold ceiling water piping
Leak check port handle valve
Vacuum piping clamp
Heater insulator
Power box
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、今日の半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすように設計された強力なエッチング装置です。このエッチャーは、シリコンからプラスチック、有機発光ダイオード(OLED)などの有機材料まで、さまざまな基板を処理することができます。システムの高度なエッチング処理は、物理蒸着(PVD)と呼ばれ、各層の形状、サイズ、組成を正確に制御することができます。均一な成膜パターンと高いプロセス歩留まりを特徴としています。エッチャーには、高速かつ均一なプラズマエッチングを行うための高性能化学蒸着(CVD)設備が装備されています。TEL INDY PLUS B-Mは、最適なエッチング条件を可能にするさまざまな温度制御オプションを提供します。これは、ホットプレートと誘導ヒーターの両方を含み、2000°Cまでの精密な温度制御を可能にします。エッチングチャンバー内の電磁石は、サンプル全体の均一な蒸着を維持するのに役立ちます。このユニットはまた、基板上のレベルの高さと均一なプラズマ分散を保証する革新的な自動チャンバー高さ制御機構を備えています。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-Mの特徴は、ユーザーフレンドリーで高精度なプラズマエッチングソフトウェアです。このマシンは、エッチング時間、電力、デューティサイクルを制御するための強力なユーザー調整可能な電源制御を備えています。強力なオートメーションモードにより、エッチャーは簡単なプロセス開発と最適化を可能にします。また、エッチングチャンバーの3Dグラフィカルディスプレイを備えており、ユーザーはエッチングプロセスを監視および制御することができます。また、東京エレクトロンINDY PLUS B-Mは、エンドポイントを正確に検出するための強力な光放射分光計を備えています。熱的に不安定な基板のひずみのない加工のために、石英管オーブンも含まれています。エッチャーの層ごとの自動蒸着機能により、ターゲット構造の層厚を簡単に調整できます。INDY PLUS B-Mは、コンパクトでユーザーフレンドリーなパッケージで優れた性能を提供する高度なエッチャーです。パワフルなエッチングプロセスと直感的な制御システムにより、高精度の構造をこれまで以上に簡単に製造できます。このエッチャーは、今日の厳しい半導体製造事業に最適です。
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