中古 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293637534 を販売中

ID: 293637534
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Diffusion furnace, 12" Carrier stage body Main body Vacuum box X-Precursor bubbler box Option box Heater PWR Box: XP41VP (2) XP42VP XS7VP XP2 XS5 Pump interphone MM1 INTFC 2XP1 XP56VP XS73VP (2) XT902 TMA SAFTY Unit XS103VP XP776VP XT 514-8 XT516 XT739 (2) XT901 TMA SAFTY Unit Interphone XP92VP XT530 XP40VP GRSO PCB CN1 GRSO CN2 (5) XT513 (11) XT514 (5) XT510 XT513-1 XT513-2 XT513-3 XT510-7 (2) XP 1028 EXC XP 1023 EXC XP 1024 EXC XP 1025 EXC T/C Unit T/C Cable T/C Box Control box top cover Gas piping duct RCU Piping box Piping Gas detector Smoke detector T/C Junction box G/Box exhaust connection FNC TOP Exhaust connection O2 Analyzer Vacuum box cover-1 Control box fox jig Cooling water piping Facility connection cover Scavenger cover Heater panel Vacuum box cover-2 Heater frame support Option box cover Shutter corer Carrier stage TOP Cover front panel Fixed tripod Positioning iron piece Screws Manifold Main valve Vacuum piping P1 Vacuum piping P2 Vacuum piping P3 Vacuum piping P4 Vacuum piping P5 (Bellow) Inner tube support ring Pedestal plate Center ring Outer tube lock ring Boat rotate support Inner tube lock ring Outer tube seal ring Manifold heater Vacuum piping tape heater Manifold ceiling water piping Leak check port handle valve Vacuum piping clamp Heater insulator Power box 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B Mは、今日の半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすように設計された強力なエッチング装置です。このエッチャーは、シリコンからプラスチック、有機発光ダイオード(OLED)などの有機材料まで、さまざまな基板を処理することができます。システムの高度なエッチング処理は、物理蒸着(PVD)と呼ばれ、各層の形状、サイズ、組成を正確に制御することができます。均一な成膜パターンと高いプロセス歩留まりを特徴としています。エッチャーには、高速かつ均一なプラズマエッチングを行うための高性能化学蒸着(CVD)設備が装備されています。TEL INDY PLUS B-Mは、最適なエッチング条件を可能にするさまざまな温度制御オプションを提供します。これは、ホットプレートと誘導ヒーターの両方を含み、2000°Cまでの精密な温度制御を可能にします。エッチングチャンバー内の電磁石は、サンプル全体の均一な蒸着を維持するのに役立ちます。このユニットはまた、基板上のレベルの高さと均一なプラズマ分散を保証する革新的な自動チャンバー高さ制御機構を備えています。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-Mの特徴は、ユーザーフレンドリーで高精度なプラズマエッチングソフトウェアです。このマシンは、エッチング時間、電力、デューティサイクルを制御するための強力なユーザー調整可能な電源制御を備えています。強力なオートメーションモードにより、エッチャーは簡単なプロセス開発と最適化を可能にします。また、エッチングチャンバーの3Dグラフィカルディスプレイを備えており、ユーザーはエッチングプロセスを監視および制御することができます。また、東京エレクトロンINDY PLUS B-Mは、エンドポイントを正確に検出するための強力な光放射分光計を備えています。熱的に不安定な基板のひずみのない加工のために、石英管オーブンも含まれています。エッチャーの層ごとの自動蒸着機能により、ターゲット構造の層厚を簡単に調整できます。INDY PLUS B-Mは、コンパクトでユーザーフレンドリーなパッケージで優れた性能を提供する高度なエッチャーです。パワフルなエッチングプロセスと直感的な制御システムにより、高精度の構造をこれまで以上に簡単に製造できます。このエッチャーは、今日の厳しい半導体製造事業に最適です。
まだレビューはありません