中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293818865 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、半導体製造時の基板加工に使用されるエッチャー/アッシャーです。この機械はゲート弁によって分けられる2つの処理部屋から成っています。トップチャンバーにはソース材料が含まれており、ボトムチャンバーには目的の結果を得るためにリンクされたさまざまな技術が含まれています。上部のチャンバーは、ガスカーテンインレット、材料分散ユニット、およびリニアスリットのシャワーヘッドで構成されています。ガスのカーテンは分配された材料にアルゴン、窒素、または酸素を含むいくつかのガスを高速で導入することができ、改善された均等性および層の厚さを提供します。材料分散ユニットは、一連の2次元分散プレートを介して原料を基板に分配します。リニアスリットのシャワーヘッドは、熱拡散、加速、精密なモーションコントロールを組み合わせて、均一なコーティング層を実現します。底部には高分解能レーザー干渉計を内蔵しており、基板の動きを制御する際に高精度・高精度を実現しています。チャンバーには、基板を自動的にピボットして所望の位置に移動させることができる高度なロボットアームも装備されています。このアームは、必要に応じて基板を1000°Cまでの温度で加熱することができるオーブンに基板を移動することもできます。TEL TELINDY Plusには、ロードロックステーションとマルチポイント電気試験治具も含まれています。このロードロックステーションは、大気圧を変更することなく、チャンバー内からのガスの導入と避難を可能にします。マルチポイント電気試験治具は、ドーパントレベル、デバイスの完全性、および電流測定などの標準的な電気試験を提供します。このエッチャー/アッシャーは、優れた操作制御機能を備えており、さまざまなガス流量、温度、圧力、移動、および電力レベルが可能です。また、基板の位置や精密な成膜を制御することができ、加工中も基板が平坦に保たれます。半導体業界での使用に最適で、その信頼性と精度が評価されています。