中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293656320 を販売中
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ID: 293656320
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2016
Furnace, 12"
Process: Low-temperature nitride
Maximum operating temperature: 850°C
N2 Load lock
Wafer type: 300 Si semi STD-Notch
(100) Production wafers
(2) Boat type / (2) boat operation (B/S)
Loading area light: White (LED)
O2 Density control N2 LL
N2 Boat shower wafer cooling
ENTEGRIS F300-2005- 17UT1502
Carrier type: FOUP 25 slots
Edge grip W/T type
VMM-56-306C Mid temperature
Top furnace exhaust connection point
Bottom cooling water connection point
FUJIKIN IGS
Tubing bends: Bend (Less than 90°)
IGS Final filter
CKD IGS Regulator
HITACHI Digital
IGS Press transducer: Nagano
HITACHI AS102S-A HCD SCCM
MKS Capacitance manometer
Press monitor
Pump monitor
Main valve: CKD-VEC
Power box top
Vacuum exhaust system, 4"
Piping trap
CKD-VEC Vacuum pressure control
Quartz material: Electric fused
Quartz inner/outer tube material
Internal T/C: Process tube interior wall type
Tube sealing: N2 Purge and O-Ring seal
Manifold heater
Switch valve for manifold cool
QUARTZ Boat material
117-Slots Ladder (8mm pitch)
Two quartz fins are welded at the bottom
Cap heater
QUARTZ Pedestal type
Shutter purge type
Power supply:
3-Phase connection type: Star connection
Single phase connection: Grounded
Single phase voltage: 120 VAC
3-Phase voltage: 480 VAC
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは最先端の3Dエッチング/アッシングツールです。堅牢な設計、優れたエッチング、アッシング精度、精度を備えており、現在の半導体製造装置メーカーのニーズに応えるために開発されました。TEL Indy Plus-A-Mを使用すると、プロセスのバリエーションが少なくサイクルタイムが短く、ウェーハのエッチングとアッシュを行うことができます。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、高度なドーピング、レイヤートランスファー、アニーリングプロセス、厚膜エッチングなど、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に適しています。このツールには、LOBOTRON™（レーザー光学ビーム光学トロン）と機械化リフレクター（MR）が装備されています。Indy Plus-A-Mは、LOBOTRON™を使用して、堅牢な設計により、レーザー焦点誤差を低減したエッチング/アッシングを実行できます。さらに、MR技術のおかげで、高アスペクト比エッチング/アッシングなどのダイレクトプロセッシングが可能になり、プロセス変動が少なくなります。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、超高アスペクト比プロセスではウェーハを5 µmまで、ハイスループットアプリケーションでは最大9 mmまで処理できるなど、幅広いプロセス機能を提供します。また、様々な金属、プラスチック、酸化物材料、結晶/非アモルファス材料の再現性と堅牢なエッチング/アッシングをユーザーに提供することができます。TEL Indy Plus-A-Mは、製造コストの削減と生産性の向上を目的としています。Closed-Loop Control （CLC）機能により、正確なエッチング/アッシング性能を実現し、長期的な再現性を実現します。また、プロセスパラメータのリアルタイムフィードバックを提供することで、一貫した製品品質を保証します。さらに、自動化されたプリコンディショニング機能により、エッチング時間を短縮しながら、目的のプロセスエンドポイントを維持できます。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、オーナーシップの低コストで高度なエッチングとアッシング処理を必要とするユーザーに最適なソリューションです。使いやすいユーザーインターフェイス、手頃な価格、組み込みの安全機能により、今日の半導体業界に最適なツールです。生産歩留まりの向上、廃棄物の削減、製品品質の向上を目指すメーカーに最適です。
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