中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293637640 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、TEL （TOKYO ELECTRON）が開発したプラズマエッチング装置で、半導体やMEMS/NANO加工に使用されています。TEL Indy Plus-A-Mは、高精度とスループットを維持しながら、極めて狭い微細な形状の高品質エッチングを可能にするプラズマエッチングシステムです。主に半導体加工、フォトマスク加工、MEMS/NANOデバイス用途に使用されています。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、バッチ、平面、等方性エッチング用の標準6インチおよび8インチのバッチまたはクラスターエッチングチャンバーを備えています。新しいバージョンは、より大きなウェーハのサイズに対応するために、より大きな12インチのウェーハでも利用できます。このチャンバーは、優れた均一性、再現性、および低粒子汚染により、高い生産性を実現するように設計されています。その高性能プロセスコントロールユニットとインテリジェント設計は、あるプロセスから別のプロセスへの迅速な切り替えを可能にします。また、プロセス制御装置により、リアルタイムの調整が可能になり、異なる種類の材料に最適なプロセス条件が保証されます。Indy Plus-A-Mには、TEL/TOKYO ELECTRON Etch Module （TEM）コントローラが搭載されています。これは、平面線形および異方性エッチングレシピを含むエッチングレシピの広い範囲をサポートしています。TEMは、エッチングパラメータのパワー、圧力、およびマッチングに対する極めて高い精度を提供し、複数のエッチングレシピとシミュレーションの暴走をサポートします。TEMはSi etchとSiN etchの両方のレシピを処理し、統合ツールは優れたプロファイル制御と重要なエッチング信頼性を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、3Dプラズマ解析機能も備えており、エッチングの均一性やプロセス条件をリアルタイムでモニタリングできます。また、プロセスパラメータの迅速な監視と調整を可能にする診断モジュールが内蔵されています。このアセットには、さまざまな種類の材料のエッチング結果を最適化するEdge Bias Moduleも搭載されています。TEL Indy Plus-A-Mは、専用のソフトウェア開発キット（SDK）でエンドユーザーをサポートしています。このSDKは、ユーザーが指定したレシピとプロセスをTEL Etch Moduleに統合する柔軟性を提供し、エッチングプロセスの精度と完全な制御を保証します。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、エッチングレシピやプロセスオプションを幅広くサポートしながら、高精度、再現性、スループットを実現する高度なエッチャーです。Indy Plus-A-Mは、直感的な操作、統合されたプロセス制御モデル、および柔軟なSDKにより、多くの半導体およびMEMS/NANO製造アプリケーションに必須のツールです。