中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293622680 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、半導体製造装置の製造・販売会社であるTEL Ltd。が製造するケミカルエッチャーおよびアッシャーです。TEL Indy Plus-A-Mは、酸化物、窒化物、金属、ポリマーなどの様々な材料にバッチエッチングおよびアッシングサービスを提供するように設計されています。このシステムは、高度なコンピュータガイドコントローラとロボティクスを使用して、直感的なユーザーインターフェイスを介してウェーハツーウェーハプロセス制御を完全に提供します。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mには、3つのチャンバーと6つのプロセスモジュール、さらにガス分配パネルが装備されています。最初のチャンバーはエッチングチャンバーで、不要な材料をエッチングし、酸、塩基または反応性ガスで特徴をシャープにするために使用されます。第二のチャンバーは、酸素または窒素ベースのプラズマを使用して素材の薄い層をすばやく除去するAshing Chamberであり、より迅速な処理とより一貫した仕上がりを可能にします。第三のチャンバーは、化学物質やガスの流れを慎重に制御するために使用されるポンプモジュールであり、システムの雰囲気と基板の完全性を維持するのに役立ちます。Indy Plus-A-Mの内部コンピュータガイドコントローラは、温度や圧力、その他の動作パラメータを制御し、正確で再現性のある安全な結果を得ることができます。ロボットアームは、プロセスである基板の正確な移動と配置を提供し、最大スループットと最小ダウンタイムを可能にします。このシステムは、さまざまなレシピも提供しているため、さまざまな用途に適しています。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、シリコン、III-V、ポリマー、金属など様々な基板の加工が可能です。mini （375mm）、 mid （450mm）、 max （525mm）に対応しており、直径5。25インチまで対応可能です。TEL Indy Plus-A-Mは、加工中に発生する可能性のある不均一性を排除するために、エッチングおよびアッシングパラメータを自動的に調整するアダプティブプロセスモニタも備えています。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、信頼性の高い汎用性の高いエッチャーおよびアッシャーであり、一貫した結果を持つ高密度基板のエッチングおよび灰を必要とするお客様に絶大な価値を提供します。お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能な幅広い加工オプションを提供し、東京エレクトロンの豊富な知識豊富なカスタマーサービス専門家ネットワークによってサポートされています。