中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293591864 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、半導体生産に最適化された先進エッチャー/アッシャーです。最も薄い誘電層から最も厚い金属層まで、より小さなパターン寸法で優れた精度を維持しながら、さまざまな種類の基板を加工することができます。機械の使いやすく柔軟な設計により、高度なプロセス開発と大量生産の両方に最適です。TEL Indy Plus-A-Mの最も重要な特徴の1つは、Rapid Process Development （RPD）技術です。高速エッチング処理が可能で、最適なエッチング工程を迅速に開発できます。エッチャーはまた、エッチングプロセスパラメータを高精度に制御し、再現可能な再現性のある結果をもたらします。また、フィルムの均一性と再現性を最適化するいくつかの技術も提供しています。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、真空エッチング用途向けの先進的な真空技術も搭載しています。このシステムは、最大5x10-2mbarの高真空圧力を備えており、最薄の材料層でもエッチングが可能です。さらに、先進の真空技術により、ガス拡散を最小限に抑え、エッチングを成功させるために重要な必要な低エッチング温度を維持します。優れたエッチング結果に加えて、基板の安全かつ効率的な取り扱いを保証する高度な自動負荷およびアンロードマシンなどの高度な安全システムも装備されています。温度および圧力を含むすべての工具変数は、容易に監視され、必要に応じて調節することができます。これにより、優れたエッチング結果を提供しながらエラーのリスクを低減します。さらに、Indy Plus-A-Mは信頼性が高く、長期間の生産を通じてパフォーマンスの一貫性を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-Mは、半導体製造に最適化された信頼性の高い高精度エッチャー/アッシャーです。その堅牢な機能は、迅速なプロセス開発、高精度制御、優れたフィルム均一性と再現性を促進し、生産を成功させます。高度な安全システムは、安全な取り扱いを保証し、資産の正常な性能の一貫性は、半導体製造の厳しい環境に最適です。