中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy IRAD #9211646 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY IRADは、半導体製造装置のリーディングサプライヤーであるTELが設計したエッチャーおよびアッシャーです。この最先端のエッチャーとアッシャーは、エッチング時間を大幅に短縮しながら、可能な限り最高レベルの表面仕上げ品質を達成するために設計されています。TEL Indy IRADエッチャーとアッシャーは、独自のエッチングキャビティ設計により、均一なエッチングが可能です。このユニークな設計により、プロセス制御、均一性、再現性の向上が可能になり、より高品質な仕上げ製品を生み出すための鍵となります。また、エッチング時間を短縮しながら、エッチング深度を確保することも可能です。これは、浅いトレンチ絶縁（STI）エッチングなどの重要なエッチング工程で特に重要です。TOKYO ELECTRON INDY IRADでは、ソース技術を活用し、最大限のエッチング力とプロセス制御を実現しています。ソース技術は、エッチング時間を最小限に抑えながら、エッチビームの有効性を最大化するのに役立ちます。また、エッチングプロセスが安全かつ一貫していることを保証し、エッチングの均一性と再現性を高めるのに役立ちます。Indy IRADは完全に自動化されたロード/アンロード装置も備えています。このシステムは、カセットからウェーハを転送し、自動ウェーハアライメントを実行し、ウェーハをチャンバーにロードすることができます。このユニットは非常に信頼性が高く、手動エラーを排除し、高精度のエッチングプロセスを保証します。TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRADには、エンドポイント判定機も内蔵しています。このツールは、エッチングされた材料の総量を正確に決定し、エッチング処理が完了しているかどうかを決定するのに役立ちます。アセットはまた、プロセスの歩留まりを改善し、エッチング時間を短縮するのに役立ちます。最後に、TEL Indy IRADは、複数の処理ステップの必要性を低減するように設計されており、さまざまなエッチング用途で使用することができます。その直感的なユーザーインターフェイスは、簡単な制御とプログラミングを提供し、プロセス時間を短縮するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON INDY IRADは、安全でクリーンルーム環境でも使用できるように設計されており、プロセスの信頼性と効率性の向上に貢献しています。これらのすべての機能により、Indy IRADはエッチングおよびアッシング用途に最適です。