中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9402690 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、TELによって設計・設計された先進的なプラズマエッチャー/アッシャーです。このエッチャーは、多層半導体デバイス、誘電体、金属など、さまざまな基板のハイスループットプラズマエッチング用に特別に設計されています。TEL Indy-I-Lは、高解像度の自動アライメント装置、高速試料搬送ロボット、基板やフィルムのプラズマエッチング用の高度なプラズマソースを備えた完全統合型エッチャーです。TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、高いエッチング率と選択性を幅広いフィルムや基板に提供するために設計されており、エッチャーを高精度で均一なデバイスの製造に使用することができます。高速試料搬送ロボットにより、異なる形状の大型基板を素早く正確に加工でき、自動化されたアライメントシステムにより、パターン認識と基板登録が正確に行われます。このユニットはまた、高度なプラズマ源を持っています、エッチング力とガスの広い範囲を提供することができます、制御の高度と。Indy-I-Lの高度なプロセス制御および診断機械は、プラズマ温度、圧力、電力、ガス流量などのエッチングプロセスパラメータをリアルタイムで監視できます。これにより、エンジニアはエッチングパラメータを正確に制御し、必要に応じてすぐにパラメーターを調整して最高品質のエッチングプロセスを確保できます。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、シミュレーションツールと完全に互換性があり、実際の処理前にエッチングプロセスをテストおよびシミュレーションすることができます。これにより、エンジニアはエッチングプロセスのパフォーマンスを最大化するために必要なデータと情報を確実に入手できます。TEL Indy-I-Lは、ハイスループットエッチングを必要とする半導体メーカーや研究室に最適なソリューションです。TOKYO ELECTRON INDY-I-Lは、高度な機能、柔軟性、互換性により、先進的な研究およびデバイス製造に最適です。