中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394964 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、ミディアムスループット、マルチプラットフォームエッチャー、アッシャーです。金属、Si、化合物、誘電体など幅広い材料に使用できます。そのアプリケーションには、ウェーハクリーニング、堆積、エッチングが含まれます。汎用性と適応性が高く、3次元の角度付きエッチングと裏面アッシングが可能です。TEL Indy-I-Lは、230mm、 300mm、 450mmのウェーハ径を使用しており、様々な用途に適しています。3基の電磁バルブチャネルマッチングアクチュエータ（EVMA）を搭載し、高精度かつ高速な加工が可能です。長い寿命のプラズマ源は、さまざまな種類の材料蒸着およびエッチング処理に最適な性能を保証します。室温制御装置を内蔵しており、エッチング温度を幅広く設定でき、精密なエッチングが可能です。東京エレクトロンIndy -I-Lには、SiGe/Si成膜や高温LPCVDなどの急速な高温処理が可能な高温蒸着システムも搭載しています。この機能は、印象的な均一性を維持するのに役立つ電磁ポンプによってサポートされています。それだけでなく、エッチャー/アッシャーには窒素カスケーディングユニットも備えており、ノバキュウムガス絶縁およびクリーンチャンバーが実現されます。Indy-I-Lは、安全性に関しても豊富な機能を備えています。それは操作の前後に部屋をパージする安全保護機能が装備されています、安全の達成可能なレベルを保障します。マシンはまた、緊急時にすぐにマシンを停止する内蔵の緊急停止ボタンを使用しています。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、運用とメンテナンスの両面で柔軟に対応できます。ユーザーインターフェイスには、タッチパネル、グラフィカルメニュー、クラウドストレージ機能が搭載されており、ユーザーが設定やレシピを保存できるため、操作とメンテナンスが大幅に簡素化されています。全体的に、TEL Indy-I-Lは、高精度、大容量スループット、汎用性の高いエッチング/アッシングプロセスを必要とする方に理想的なエッチャー/アッシャーです。堅牢で、ユーザーが必要とする精度と安全性を提供します。また、非常にユーザーフレンドリーで、ユーザーは幅広いエッチングおよびアッシング用途に迅速に対応できます。