中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394962 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、ガスや物理エッチングのためのコンパクトでコスト効率の良いソリューションを提供するエッチャー/アッシャーです。高レベルの柔軟性と汎用性を提供するように設計されており、ポリマー、誘電体、金属などのエッチングなど、幅広いエッチング作業に対応できます。直径300mmまでのウェーハ加工が可能で、中小規模の製造に最適です。TEL Indy-I-Lの一次エッチング工程は、塩素という特殊なガスを用いて行います。機械はエッチング室にガスを注入する2つの注入のノズルと精密な圧力を作成するために形成されます。その結果、ウェーハのすべての側面からターゲットとなる材料の均一なエッチングが実現されます。圧力、温度、タイミングなどのエッチングパラメータは、PCベースのユーザーインターフェイスを使用して正確に調整でき、幅広いエッチングオプションをユーザーに提供します。また、研磨スパッタリングやレーザーエッチングなどの物理的なエッチング方法を使用してエッチング処理を補完することもできます。例えば、研磨スパッタリングは金属表面から有機表面層を除去することができ、レーザーエッチングはピット、穴、回路パターンを正確にエッチングすることができます。TOKYO ELECTRON Indy-I-Lには、エッチング後のウェーハ乾燥に使用できる特殊なクォーツヒーターも装備しています。Indy-I-Lには、イオン化イベントやガス漏れなどの予期せぬ事態が発生した場合に、オペレータや機器の安全を確保するためのさまざまな安全メカニズムが装備されています。また、エッチング条件の変化を検知する高感度センサーを搭載しています。変更が発生した場合、センサーは自動シャットダウンをトリガーし、オペレータが適切な行動をとることができます。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、多種多様な素材に対応した優れたエッチャーとアッシャーです。柔軟性と汎用性、エッチングパラメータの正確な制御、およびいくつかの安全メカニズムをすべて費用対効果の高い価格で提供します。TEL Indy-I-Lは、中小規模の製造業務において信頼性が高く効果的な選択肢です。