中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394514 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lはエッチャー/アッシャーで、半導体デバイスの製造におけるパターニングソリューションを提供します。電子ビーム光学を用いて半導体基板に高次元の精度パターンを作成する、高効率で自動化されたショートパルスアッシャー（SPA）装置です。ロジック、DRAM、アプリケーション固有の集積回路（ASIC）など、高解像度を必要とする複雑なデバイスの製造に適しています。TEL Indy-I-Lは、単一のシステムで多層露光を可能にするさまざまなソース、ビーム搬送コンポーネント、およびプロセスツールを備えています。1。5ミクロン以下の静的位置精度を持つビームエンコーディングセンサーを備えています。また、パターンフィーチャー全体で高い均一性を維持するように設計された露出制御ユニットも内蔵しています。ソースについては、数ピコ秒から数マイクロ秒までの短いパルス持続時間のレーザー光を提供することができる高出力25kWのマグネトロンを装備しています。東京電子インディ-I-Lは、電子ビーム露出制御機に加え、エッチングおよびアッシング工程用のin-situガス搬送ツールを搭載しています。このアセットは、ガス供給ライン、排気モデル、およびプロセス性能を微調整できる圧力コントローラで構成されています。さらに、サイドウォール不動態層のエッチング、アッシング、沈着などのさまざまなプロセスを可能にする2つの独立した統合ドライエッチチャンバーを備えています。Indy-I-Lには、装置パラメータを監視および調整するために使用できるプロセスコントロールコンピュータとソフトウェアも含まれています。このソフトウェアは、ガスとプラズマデューティサイクル、露出線量の変化を可能にします。コンピュータはまた生産ラインの異なったシステム間でデータを保存し、移動するのに使用することができるいろいろな調理法と事前にプログラムされます。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、効率的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーで、半導体デバイスのあらゆる製造工程に適しています。様々なエッチングやアッシング処理が可能で、複雑な形状を高い精度でパターン化することができます。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより操作が容易で、高出力マグネトロンとガス供給システムにより優れた性能を発揮します。