中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293812118 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L etcher/asherは、今日のウェハレベルのパッケージング、MEMS、オプトエレクトロニクス業界の厳しい製造要件に対応するために開発された先進的な生産ツールです。エッチングおよびアッシング処理の優れた精度と再現性を提供し、一貫して高い歩留まりと低コストを保証します。この装置には、高度な精度と高スループットのウェーハ製造能力、およびさまざまな統合プロセスモジュールが装備されています。TEL Indy-I-Lエッチャー/アッシャーの統合プロセスチャンバーは、プロセスガスから正確なバランスを維持するように設計されており、アッシングとエッチングに優れた性能を発揮します。そのシステムは、高いプラズマ均一性、高速チップ洗浄、高速プロセス速度、および最小限のチャンバー間の不均一性を提供します。このユニットは、レシピを迅速に切り替える機能を備えており、実行中のプロセス調整に関連する処理時間とコストを最小限に抑えます。さらに、マルチチェーン技術により、チャンバの消費量を削減し、ウェーハあたりのスループット率を向上させます。TOKYO ELECTRON Indy-I-Lエッチャー/アッシャーには、低温検出、高圧警報、衝撃検出、高品質の加熱冷却、遠隔OPC、ウェハトラッキング機能が豊富に搭載されています。すべてがダスト汚染の影響を最小限に抑え、高価な再処理を防止するように設計されています。さらに、内蔵の冗長機能は、マシン全体のフェイルオーバーソリューションを提供し、ダウンタイムを最小限に抑えながら継続的な生産性を確保します。Indy-I-Lエッチャー/アッシャーは、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた簡単なメンテナンスのためにも設計されています。自動ウェーハ濃度制御およびリソグラフィーツールは、高度な追跡技術の統合とともに、簡単な操作をサポートし、ダイナミックなレシピ選択を提供し、ユーザーはレシピをすばやく交換することができます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lエッチャー/アッシャーは、業界をリードするエッチングおよびアッシング処理、優れたプラズマの均一性、高精度および再現性、ダウンタイムの短縮、メンテナンスの容易さを提供する高度でユーザーフレンドリーでコスト効率の高い生産ツールです。一貫した結果と低コストで高い歩留まりを提供できる資産を探している場合は、TEL Indy-I-Lエッチャー/アッシャーが最適です。