中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293809896 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、半導体デバイス製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。リアクティブイオンエッチャー（RIE）で、プラズマを使用して正確に制御されたイオンエネルギー、イオンフラックス、およびイオン状態でデバイス層をエッチングします。エッチングプロセスは、デバイスの物理的な特徴を形作るように設計されています。TEL Indy-I-Lは、最大6個のウェーハを同時にエッチングすることができる垂直クラスタ装置です。このシステムには、エッチングチャンバー内の正確なウェーハ位置決めのための精密ステージと、高周波電力制御のためのRFジェネレータが装備されています。ロジック制御によりエッチングパラメータを制御し、精密かつ再現性のあるエッチング結果を提供します。プラズマを特定の方向に向ける上部電極と下側電極の2つのセットがあります。エッチング処理は、エッチング時間とRFパワーレベルを変更することにより、特定のデバイス層やアプリケーションに合わせて調整することができます。TOKYO ELECTRON Indy-I-Lマシンは、低温エッチングを実現し、超薄型エッチングに最適化されています。このツールには、エッチング選択性と高精度エッチプロファイルのための高速応答ガスパージング資産とガス処理も含まれています。このモデルは、0。05 umの薄さから層をエッチングすることができ、ウェーハ全体の深度制御と均一なエッチングの精度が高い。エッチング装置は、運転中のオペレータの安全を確保するために、ステンレス製のチャンバーに囲まれています。プロセス制御は、エッチングレシピの最適化のために組み込みPCによって処理されます。さらに、自動ウェーハローダー、ウェーハモニター、イオンガーゼモニター、品質保証センサーを搭載しています。Indy-I-Lは、高いスループットで迅速な処理を提供するように設計されており、研究および生産設定の両方に適しています。
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