中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293587748 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、バッチ処理とシングルウェーハ処理の両方に対応したエッチャー/アッシャーです。大型加工チャンバー、自動ウェーハのセンタリング機構とウェーハの厚さ測定用センサー、ウェーハ冷却ユニット、アライメントプレート、空気調整ユニットを内蔵しています。TEL Indy-I-Lは、さまざまな材料やプロセスに対応できるオールインワンの装置で、微調整とプロセス最適化を容易にします。TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、使いやすいインターフェースとタッチスクリーンコントロールにより、経験値に関係なく、すべてのユーザーに適しています。Indy-I-Lはまた、複数のレシピを同じファイルに保存できる独自のカセットベースのレシピシステムを備えており、迅速かつ効率的なパラメーター変更を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、マルチプロセスチャネルの最適化されたユニットを搭載し、独立したプロセス操作と並行プロセスを可能にします。このマシンは、サイクル時間を短縮し、柔軟性とスループットを向上させます。TEL Indy-I-Lのエッチング工程には、ドライエッチング、スパッターエッチング、RIEエッチング、化学蒸着などがあります。また、ウェーハの前面と背面の両方で同時にスパッタリングすることができます。エッチングにはCF4やヘリウムなど様々なガスを使用できます。東京エレクトロンIndy -I-Lは、原子層エッチング、ナノインプリントリソグラフィー、誘電体エッチングなど、幅広いレシピを提供しています。Indy-I-Lは、高いプロセス品質と安定性を維持するために最先端の冷却ツールで設計されています。高圧ガスアセットにより、精密なガス流量制御が可能です。また、高度な真空制御モデルにより、高品質のエッチング処理が可能です。その強力な真空源は粒子数を削減し、浮動ビーム源は正確なエネルギー分布を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、高度な半導体加工に最適なエッチャー/アッシャーです。そのマルチプロセス機能と異なるレシピ間の迅速な切り替えにより、最先端のデバイスの生産に最適です。直感的なタッチスクリーンインターフェイス、高度な冷却装置、高精度プロセスにより、今日の厳しい半導体要件に適しています。