中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #9390672 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-Bは、半導体メーカーに高精度で信頼性の高い基板加工を提供するために設計されたエッチングおよびアッシング・システムです。学習しやすくユーザーフレンドリーなTELインターフェースを備えており、異なるプロセスアプリケーションでユーザー定義のレシピを作成できます。TEL Indy-Bは、ヒーター/マッパーと物理的に接続されている処理部品の2つの主要なセクションで構成されています。ヒーター/マッパーはウェーハの正確な加熱とマッピングを行い、加工部品はエッチングとアッシングを行います。TOKYO ELECTRON Indy-Bは、最適化された高解像度エリアマッピングとフルウェハマッピングモードを備えています。ヒーター/マッパーは、ユーザーに正確な温度制御を提供するだけでなく、ユーザーが正確な抵抗と電圧レベルを監視することもできます。また、複数のガスをサポートし、効率的なガス流量を確保し、破損や欠陥のリスクを最小限に抑えます。Indy-Bの処理コンポーネントは、2つのパラレルエッチングとアッシャー、2つのシングルウェーハアッシャー、1つのウェーハエッチャーを含む最大5つのチャンバーをサポートします。TEL/TOKYO ELECTRON INDY-Bは、ウェーハを均等に分散させるため、シングルウェーハまたはマルチウェーハのレシピに基づいて自動的に処理します。TEL Indy-Bは、直径200mmまでのウェーハを動作させることができ、信頼性の高い効率的なエッチングおよびアッシングソリューションをユーザーに提供します。TOKYO ELECTRON Indy-Bは、MEMS構造におけるエッチング手順の有効性を迅速かつ正確に評価できる高度なMEMS試験機能を備えています。さらに、ユーザーはIndy-Bの包括的なアプリケーションスイートを使用して、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスのレシピを開発、プログラム、実行できます。これにより、ユーザーは正確なアプリケーション要件を満たすためにカスタムエッチングとアッシングレシピを柔軟に開発できます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY-Bは、高性能で高精度な基板加工を可能にする高度なエッチング・アッシング・ソリューションです。包括的なアプリケーションスイートと包括的なテスト機能により、優れたエッチングとアッシングの結果を必要とする半導体メーカーに最適です。