中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #293591338 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY-Bは、高いアスペクト比の構造と、高い精度とスループットを実現する次世代の生産エッチャー/アッシャーです。機械は異なったユーザーが彼らの特定の必要性のための機械をカスタマイズすることを可能にするモジュラー設計を特色にします。TEL Indy-Bには東芝2.2MeVイオン源と1。5 m x 1。0 m加工チャンバーを搭載し、優れたスループットとエッチング率を提供します。エッチャー/アッシャーは、エッチング、アッシング、およびプラズマプロセス中のすべてのウェーハ処理が非接触であることを意味する「タッチフリー」処理も提供しています。また、パワフルなフィードバック制御のエッチングおよびアッシングプロセスを採用しており、リアルタイムの高度なマッチングアルゴリズムを使用して、高スループットレベルでもエッチングおよびアッシング機能の正確性を保証します。東京電子インディ-Bは、強力なエッチングおよびアッシング機能に加えて、複数の電子サイクロトロン共鳴（ECR）源と多数のガス注入光学系を備えた先進的なプラズマ生成システムも提供しています。これにより、拡散およびCVDステップ用の超低流量プラズマから、エッチングやアッシング用の高密度プラズマまで、さまざまなプラズマを生成できます。プラズマシステムの他の機能には、自動周波数チューニング、リアルタイムガスマッチング、リモートプラズマジェネレータなどがあります。Indy-Bエッチャー/アッシャーのさまざまな機能により、ユーザーは高いアスペクト比の構造、コンタクトホール、その他の小さなデバイスを高精度かつスループットで作成できます。さらに、モジュール設計と強力なプロセス制御システムにより、高度な微細加工プロセスに最適なツールとなります。