中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402687 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L
ID: 9402687
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Furnace, 12" Process: N₂O, NH₃, SiH₂Cl₂, SiH₄ deposition PAC Module 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは産業用エッチング・アッシング機です。最高レベルのプロセス制御と精度を提供しながら、スループットの向上と優れた結果を提供することができます。TEL INDY B Lは、プロセス制御の最適化のために、さまざまな構成で簡単にインストールすることができるコンパクトなフレーム上に構築されています。高度なQuartz/Low-eマルチステージ真空システムを備えており、プロセス環境を優れた制御を提供します。この堅牢なシステムは、正確なレベルの制御を可能にし、一貫性のある非常に反復可能な結果を保証します。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、信頼性、柔軟性、制御性を最大限に高めるために、Windowsベースの堅牢なコマンドプラットフォームを搭載しています。高度なプロセスステップタイマー、個々のバーナー温度制御、バッチ指向のスケジューリングコントロール、エッチング性能をさらに向上させるためのさまざまなオプションなど、重要な機能を備えています。カスタマイズされたプラズマや独立したスペーシングモニタ(ISM)制御などの追加機能も、ユーザーにエッチングとアッシングプロセスを優れた制御を提供します。TOKYO ELECTRON INDY B Lは、強力なウィンドベースのハードウェアおよびソフトウェア制御アルゴリズムによってサポートされており、反復可能な結果を提供します。多種多様なプロセス変数とパラメータをサポートしているため、ユーザーはエッチングとアッシングプロセスを微調整および最適化できます。さらに、複数のプロセスゾーン、石英ガラスウエハステージング、高度な操作パラメータを使用して、幅広い材料および基板にわたって一貫した反復可能な性能を保証します。Indy-B-Lは産業用の理想的なエッチングおよびアッシングツールであり、直感的で使いやすいコマンドプラットフォーム、強力なソフトウェア、高度なプロセスコントロールにより、さまざまな産業ニーズに最適です。その優れたプロセス制御性能、一貫した反復可能な結果は、効率、品質、収益性を向上させます。
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