中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402686 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体用に設計されたハイエンドエッチング/アッシング装置です。10リットルの大容量で、TEL INDY B Lはクラス最高のスループットを提供します。その結果、より速く、より高い収量を達成することができます。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、直径150mmまでのウェーハのエッチングとアッシングを正確に行うために、温度、電力などを制御できる特殊なサンプルハンドリングアルゴリズムを備えた精密な制御システムです。TOKYO ELECTRON INDY B Lは、そのポテンシャルを最大限に引き出す先進的な機能も備えています。高級ガスの精密なエッチングと配送のための3段デュアルノズル設計、安全のための統合ガス封じ込めユニットなどがあります。ガス封じ込め機には、ガスフィルター、圧力制御弁、スクラバーが含まれており、安全なガス供給を保証します。また、レーザー補助アライメントと高さ調整アセットを内蔵しており、正確なウェーハエッチング角度と均一性を提供します。Indy-B-Lの内蔵ソフトウェアは、エッチング/アッシングプロセスの自動化と制御を提供します。その高度な機能により、エッチング処理中のガス濃度とZ軸の圧力を正確に制御できます。また、ソフトウェアはまた、エッチングの品質を監視し、分析するためのツールを持っています。これにより、目的の結果を得るためにパラメータを分析して調整することで、生産性を最適化することができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、あらゆる場所からモデルをコントロールできる遠隔操作機能を備えています。これには、加熱冷却システムのリモート制御、エッチング工程の監視、レシピの保存が含まれます。これにより、より効率的なエッチング処理とオペレータの安全性の向上が可能になります。INDY B-Lは、生産性、効率性、安全性を確保するための高度な機能を備えたハイエンドエッチング/アッシング機器です。高速処理能力と精密なエッチング結果により、半導体アプリケーションのニーズに最適です。