中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402684 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、ウェーハやフラットパネルディスプレイを素早くエッチング・アッシャーすることができる先進的なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、超高精度イメージング技術を使用して、一貫した高品質のエッチングとアッシングの結果を提供します。高度なステージユニット、周波数安定化ガスフロー、スクラバー、その他のコンポーネントを組み合わせて、ウェーハとフラットパネルディスプレイが完全にエッチングされていることを確認します。TEL INDY B Lエッチャー/アッシャーマシンには、2つのチャンバー、メインチャンバー、排気チャンバーがあります。メインチャンバーには5軸スキャンステージ、排気チャンバーにはガススクラバーが装備されています。これは200mm diaまで扱うことができます。ウエハーは、一度に99ステップまで処理することができます。このツールは、圧力スペクトル制御アセットを使用しています。これは、製造プロセス中にチャンバ内の最大32の圧力ポイントを監視し、不規則性を調整します。このモデルはまた、エッチングとアッシングプロセスの分散を低減するために、周波数安定化ガスの流れを使用します。ガスフローを安定させることで、エッチャー/アッシャー装置は優れた均一なエッチングとアッシングの結果を得ることができます。さらに、GCF（ガスコンデンシング・フロー）ユニットを使用して、乾燥エッチングの凹凸によるダメージを低減するように設計されています。TOKYO ELECTRON INDY B-Lエッチャー/アッシャーマシンは、ウエハやフラットパネルディスプレイの加工に最適な機能を備えています。それに調節可能な回転速度があり、用具は384ドライブまで支えることができます。さらに、統合された真空アセットにより、各ウェハがエッチングおよびアッシングガスに均等にさらされます。これにより、TEL Indy-B-Lは非常にデリケートな部品を簡単に加工できます。全体的に、TEL INDY B-Lエッチャー/アッシャーモデルは、ウェーハやフラットパネルディスプレイのエッチングとアッシングのための強力で汎用性の高いツールです。高精度な結果を得るために高度なイメージング技術と周波数安定化されたガス流量を採用しており、調整可能な回転速度と一体型の真空システムにより、デリケートな部品に適しています。