中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9398278 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体製造に使用される最先端のエッチャーまたはアッシャーです。このデバイスは、クリーンで一貫した効率的な方法でエッチングまたはアッシングを容易にするように設計されています。これは、様々な金属、ポリマー、さらには単層および多層カーボンナノチューブなどのさまざまな基板を処理するようにプログラムされています。TEL INDY B Lは、物理的および化学的エッチングの利点を組み合わせ、全体のスループットと歩留まりを向上させます。装置の中心は独自のプラズマチャンバーであり、二重スリット設計を採用して均一な電場と磁場を生み出しています。このプロセスをさらに最適化するために、TOKYO ELECTRON INDY B-Lにはアクティブデプスコントロールが搭載されています。これにより、望ましい量の材料だけが除去され、アンダーカットまたは表面残留物が除去されることが保証されます。高温・高圧での動作が可能で、切断、剥離、パターニングなどの繊細な操作に適しています。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lには、事故時のアラームユニットや非常用電源装置など、信頼性の高い安全機能も搭載しています。Indy-B-Lには、チャンバー内の反応ガスを加圧および拡散させ、均一なエッチングを確保し、汚染を低減する活性ガス供給ツールがあります。さらに汚染を低減するために、揮発性有機化合物やその他の空中汚染物質を除去する高度な空気浄化モデルで構築されています。その他の機能には、自動アライメント、基板輸送、温度制御などがあり、高品質の均一なエッチングと動作を保証します。装置にまたレシピの設定、ashingの結果およびプロセスログの詳細情報をユーザーに与えるJob Controlソフトウェアがあります。このソフトウェアは操作が簡単で、生産性を最適化するために使用できます。全体的に、TEL INDY B-Lは、一貫した高品質の結果を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。汚染を低減し、生産性を向上させるさまざまな機能を備えているため、半導体製造において信頼性が高く費用対効果の高い選択肢となっています。