中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9395067 を販売中
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ID: 9395067
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Furnace, 12"
Process: D-Poly
Gases: NH3, DCS, (SiGe), C2H4, HF, 20%F2 with N2, TiCl3 Liquid
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、幅広い半導体加工において一貫した高品質な結果を提供するために設計されたエッチャー/アッシャーです。240 mm標準パターンジェネレータ（SPG） 4段エレクトロプレータを搭載し、ウェハクーラー、モジュラースプレーチャンバー、ロボットアームなどのアップグレードでカスタマイズできます。TEL INDY B Lは、水平ガスフローとドライエッチングとウェットエッチングの組み合わせが特徴です。これにより、エッチング処理において高い選択性を実現し、エッチングされた層の厚さをより厳しく制御することができます。また、各種エッチングガスにも対応しており、1ステップで複数の基板をエッチングすることができます。TOKYO ELECTRON INDY B-Lには、エッチング工程のすべての作業を自動化するAdvanced Control Architecture （ACA）もあります。この機能により、高精度で再現性が確保され、処理時間が短縮されます。このシステムは、ユーザーにプロセスパラメータと実行を正確に制御することを提供します。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lは、さまざまな自動監視機能を使用して、最高品質の出力を保証します。これらには、自動ガス流量制御、インピーダンス制御、圧力制御、および水密度制御が含まれます。ユニットはまた、ユーザーがすぐにその操作に精通することができる直感的です。TEL Indy-B-Lは完全なコンピューター制御とデータ監視機能を提供します。最大1,000個のレシピを保存でき、オペレータが介入することなく、需要の高いエッチングプロセスを実行するようにプログラムすることができます。また、レシピソート、テーブルバッチング、リソグラフィ検索、クリティカル寸法解析、標準偏差最小化など、最適化されたソリューションをユーザーに提供します。最後に、Indy-B-Lは、自動防火ツール、窒素ガス除去資産、自動安全関連アラートなど、幅広い安全機能を提供しています。これらはモデルが正しくそして安全に使用されることを保障します。これらの機能はすべて、包括的なサービスとメンテナンスオプションと相まって、TEL INDY B-Lは信頼性と高品質のエッチング結果をお探しの方に最適です。
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