中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394959 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、最大75mmのウェーハサイズのSIマルチウェーハ、ハイスループット、バッチ処理エッチャー/アッシャー装置です。MEMS、 SOI、ストレスリリーフ、異方性、銅めっきなど、さまざまなエッチング/アッシングプロセスで優れた性能を発揮します。このユニットには専用のインターロック制御マシンとPID制御のRFジェネレータがあり、プロセスステップ中に電力と圧力設定を効率的に管理します。HMI （Human-Machine Interface）を搭載しており、設定の調整、プロセスパラメータの監視、関連するプロセス情報へのアクセスが可能です。TEL INDY B LのRFジェネレータは、電力、圧力、周波数を正確に制御し、非常に正確で再現可能なエッチング/アッシング処理を可能にします。このツールには、100個の自動化されたレシピと、各プロセスのステップごとにデータロギングとアラーム設定も含まれています。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、複数のウエハを同一トレイに積み込むことで生産性を向上させるマルチコラム設計を採用しています。この最先端のアセットには、TEL独自のSpatia Process Automation （SPA； Spatia Process Automation）アルゴリズムが搭載されており、チャンバとウェーハごとにモデルのプロセスパラメータを正確に校正します。これにより、プロセス制御パラメータへの人間の介入を減らすことで、より正確で繰り返し可能なプロセスが可能になります。さらに、SPAアルゴリズムは、ヒューマンエラーやミスの可能性を低減するのにも役立ちます。TEL INDY B-Lは、高精度、再現性、効率的なエッチング/アッシングプロセスを提供する高度なマルチウェーハエッチャー/アッシャー装置です。統合されたHMI、 RFジェネレータ、インターロック制御システム、およびSPAアルゴリズムは、生産プロセスを大幅に改善するために必要なすべてのツールをユーザーに提供します。