中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394957 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、ウェーハ基板の正確かつ効率的なパターニングのための高度な技術で構築されたエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、特に半導体製造において、エッチングおよびアッシングプロセスの能力を最大限に引き出すように設計されています。TEL INDY B Lは、エッチングとアッシングの各プロセスに専用のシステムを使用して、ガス圧及びチャンバー温度などのエッチングパラメータを正確に最適化し、基板からのターゲット除去を最適化します。これにより、基板の歩留まりと回路の信頼性が向上します。各作動ガスに最適な圧力範囲で動作するガスボックスを備えており、エッチング選択性を向上させるための均一なガス分布の確保に役立ちます。TOKYO ELECTRON INDY B-Lには、プラズマの均一性を高める安定した均一な出力を実現する専用電極電源も搭載しています。ガス圧力を微調整することでエッチングを正確に制御し、正確で均一な結果を得ることができます。さらに、ロードロック機構により、エッチングやアッシングガスの混入を防ぎながら、簡単で便利なウエハローディングが可能です。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、各工程において精密な温度制御とガス配分を可能にする高度な制御装置を内蔵しています。これにより、ウェーハのスループットを最大化すると同時に、結果を改善するための均一なエンドポイント制御を可能にします。コーティングされたチャンバー内部は、エッチング中の汚染を防ぎ、潜在的なデバイスの歩留まりを確保するのにも役立ちます。また、東京エレクトロンINDY B Lツールにレジストストリッピング機能を組み込み、基板から不要な炭素残留物を効率的に除去することができます。これにより、製品の歩留まりと機能性が向上し、有害化学物質の使用も削減されます。最後に、TEL Indy-B-Lアセットは、最新の高精度ウェーハ業界の要求に応えるために設計された、高度なエッチングおよびアッシング機能を提供します。このモデルは、エッチングとアッシングの両方の機能を強化し、歩留まりと回路の信頼性を向上させるさまざまな機能を提供します。