中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394956 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体製造プロセスで使用される次世代エッチャー/アッシャーです。業界をリードする低コストのソリューションで、優れたスループットとウェーハの均一性を提供し、デバイスのコストを削減し、全体的な収益性を向上させます。TEL INDY B Lエッチャー/アッシャーは、高度なエッチング技術と独自のエッチング源を活用し、市場をリードするパフォーマンスを提供します。その堅牢な設計は、信頼性の高いシングルステージCVD -PVDプロセスに基づいており、単一のツールですべてのエッチング、不純物の除去、沈着、イオン注入ステップを実行でき、サイクルタイムの向上とスループット効率の向上を実現します。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、低温プラズマエッチングに特に適しており、反応時間が速く、エッチングの選択性が高く均一です。様々な原料ガス、プロセスミックスチャネル、内蔵オーブンを使用して異なるプロファイルをプログラミングすることで、SiO2/SiN/Si3N4/SiONフィルムの精密金属エッチングも可能です。さらに、3次元ロボットアームを備えた自動ウェーハハンドリング装置により、ウェーハの読み込みと切り替えが高速化され、高度なデータロギングシステムにより、プロセスの歩留まり改善をサポートするための詳細なプロセス監視とデータ収集が容易になります。Indy-B-Lエッチャー/アッシャーはバッチ処理も可能で、複数のウェハを同時に処理できます。また、自己消毒ユニットを備えており、汚染を防ぐために粒子を除去するのに役立ちます。さらに、自動チャック洗浄技術を搭載し、洗浄サイクル時間の精度と生産性を向上させます。結論として、TOKYO ELECTRON INDY B Lは、高度なエッチング/アッシングマシンであり、高いスループットとプロセスの均一性、効率、コスト削減、および優れたウェハの均一性、精度と精度を提供します。