中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394500 を販売中
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ID: 9394500
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Furnace, 12"
Plasma Assisted Process (PAC) Module
Gases:
N2O
NH3
SiH2Cl2
SiH4
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、パワフルで正確なウェットエッチング/アッシャーです。このデバイスは、エッチング時間とソリューションを正確に制御するために設計されたセミバッチウェットエッチング装置です。これは、エッチング速度やエッチング速度などのパラメータを正確に制御し、精密な化学ソリューションを可能にする完全に自動化されたマシンです。パラメーターの自動調整により、TEL INDY B Lは精密なエッチング結果をミクロンレベルの精度で提供できます。ウェーハ処理、基板洗浄、フォトマスク摩耗などの表面エンジニアリング用途に最適です。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは完全に自動化されており、ユーザーインタラクションを最小限に抑える必要があります。エッチング工程において精度・精度を提供するトップダウンビジョン検査システムを搭載しています。このユニットはまた、ユーザーが実際のエッチングを実行する前に、特定の領域をエッチングし、最終結果のプレビューを生成することができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、フッ化水素、洗剤、蒸発性の高い溶液など、さまざまなエッチングソリューションで構成できます。また、高温、低温、長温のエッチングを選択することができます。TEL Indy-B-Lは、マルチステージエッチングが可能な2チャンバーツールを搭載しています。これは、ユーザーが同じパラメータの異なる基板をエッチングでき、最初のチャンバから2番目のチャンバまでのさまざまなエッチング技術を実行できることを意味します。また、小型から大型、薄型から厚い基板まで、幅広いエッチングポートで設計されています。TOKYO ELECTRON INDY B Lの内蔵安全機能により、ウェーハや基板のウェットエッチングに最適です。圧力センサ、温度センサ、およびツールとユーザーを保護するためのレベルセンサーが含まれています。また、緊急停止、温度制御、高速汚染防止制御など、さまざまなフェイルオーバー回復機能を備えています。全体的に、TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lは、精度と安全性を考慮して設計された強力で正確なウェットエッチングツールです。自動化された機能、精密制御、安全機能により、表面エンジニアリングおよびフォトマスク摩耗アプリケーションに最適です。
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