中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394496 を販売中

TEL （TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L）は、半導体製造のために設計されたエッチャー/アッシャーです。最大100個のウェーハを同時に一括処理することができ、信頼性と信頼性に優れています。TEL INDY B Lには、浅いトレンチエッチング、深いリアクティブイオンエッチング（DRIE）、蒸気エッチングなど、さまざまなエッチングプロセスとアプリケーションがあります。このエッチング処理は、ICP （Inductively Coupled Plasma）と可変周波数および位相を使用して、エッチングの均一性、選択性、およびエッチング速度を最適化します。トーキョーエレクトロンINDY B-Lは、ウェットエッチングとドライプロセスの両方に対応した自動ウェーハハンドリングを提供しています。このマシンには、正確なエンドポイント検出のための高精度のエンドポイント検出装置と、より高いプロセス歩留まりを可能にするエンドポイント後スクラブシステムが装備されています。さらに、この機械は、あらゆるエッチング工程でさまざまな種類の反応容器を安全かつ正確に取り扱うことができます。TOKYO ELECTRON INDY-B-Lは、最高レベルのユーザーの安全を確保し、環境を保護するためのアクティブセーフティシステムとパッシブセーフティシステムを備えています。このマシンは、危険な状況を検出するために、緊急停止ボタンなどのプログラム可能なアラームと安全センサーの広い範囲を提供しています。一貫した信頼できる結果を保証するために、INDY B Lは包括的なプロセスおよび単位監視のために設計されています。オンボードコンピュータマシンは、圧力、温度、およびその他のパラメータを含むプロセス条件を常に監視します。このマシンには、プロセス制御を改善するために必要なときにパラメータを自動的に調整する自動補正ツールも装備されています。INDY B-Lは、高品質で信頼性の高い性能により、半導体製造に最適です。このマシンは、ダウンタイムを最小限に抑え、全体的なスループットを向上させるために、簡単なメンテナンスと迅速なクリーニングのために設計されています。