中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9270215 を販売中
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ID: 9270215
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Diffusion furnaces, 12"
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、高度な半導体加工のために設計されたエッチャー/アッシャーです。直径8インチまでのウェーハ上で、精密エッチングとフォトレジストの露出が可能です。TEL INDY B Lは、高純度、低温プロセス、低圧気化エッチング工程を有するプラズマエッチング工程を使用し、高度な半導体材料で高分解能パターンを生成します。TOKYO ELECTRON INDY B-Lのエッチング工程は、独自の高圧エッチング工程で自己完結し、汚染を最小限に抑えます。エッチャーは、プラズマ圧力の低減と高品質のエッチングプロセスを維持するために、高純度エッチングガスと反応ガスのための高度な射出システムを使用しています。TEL INDY B-Lは、先進のガス注入システムを使用してプラズマパラメータを制御し、高均一なプラズマ分布を確保し、反応生成物の蓄積を防止します。また、エッチングレシピを精密に制御し、さまざまなウエハ構造や材料に調整することができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lは汎用性が高く、シリシド、窒化物、酸化物、炭化物など様々な材料を処理することができます。また、コンフィギュレーション可能なエッチングチャンバーサイズと複数のタイプのウェーハ用の基板を幅広く備えています。また、あらゆる形状と深さのビア、コンタクト、ライン、トレンチなどの複雑な構造をエッチングすることもできます。また、ゲート酸化物層などの高いアスペクト比の構造にも対応できます。INDY B-Lには、ウェハローディングとアンロードを制御するためのロードロックデバイス、プラズマフローを指示するためのウェハバッフルシステムなど、さまざまな制御オプションもあります。また、チャンバー圧力とエッチング速度を自動的に設定するCHCVコントロールユニットと、部品を交換するための簡単なアクセスのためのロールアウトチャンバードアが含まれています。エッチャーは、ウェーハの温度を監視し、最適なエッチング条件を確保するために使用できるリアルタイム温度制御装置を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lは、優れたエッチング結果と正確なパターン形成を実現するために設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。INDY B Lは、高解像度と低汚染で繊細で複雑な構造をエッチングすることができます。TOKYO ELECTRON INDY B Lは、多彩な機能セットと自動化された制御により、あらゆる高度な半導体加工ニーズに最適です。
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