中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9244878 を販売中
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ID: 9244878
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Diffusion furnace, 12"
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは半導体産業のための高性能エッチャー/アッシャーです。主にバックグラインド、テーパーエッチング、地形処理、バックスペーサーエッチングなどの重要な用途に使用されます。TEM/FIB試料調製、試料研削、裏面スペーサーエッチング、表面パターニング、バックライン加工など、半導体ウェハの各種薄型化プロセスに活用できます。機械は高精度、大きい二重作業区域および速いエッチング時間を特色にします。TEL INDY B Lエッチャー/アッシャーには、TELが開発した完全自動化プロセスであるドライエッチングのカスケーディングチャートが搭載されています。このプロセスは、優れたプロセス制御、柔軟性の向上、コスト削減を実現します。また、すべてのプロセスが最適な条件で実行されていることを保証する統合プロセス監視システムが装備されています。このシステムは、最適な状態を維持するために圧力、温度、エッチング速度とタイミングを監視します。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、エッチング工程でウェーハを簡単に操作できる広々としたワークエリアを備えています。大きな作業エリアは、エッチングプロセス中にオペレータが簡単にウェーハを移動または調整できるように設計されています。さらに、500mm×500mmの最大面内寸法の大型基板加工が可能です。TEL INDY B-Lの高速エッチング機能により、さまざまな基板や用途の加工に適しています。例えば、ハイスループットアプリケーション用に複数のサンプルを同時に処理することができます。また、レーザーアシストエッチング機能を備えており、30 nm以下の機能深度の処理が可能です。また、欠陥の特定やプロセス性能の追跡に使用できる詳細なウェハマップの出力も可能です。TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、完全密閉型のステンレス製ワークスペースや集塵システムなど、さまざまな安全機能を備えています。これにより、プロセスをエッチングするためのクリーンで安全な作業環境を確保できます。さらに、流量モニター、静圧モニター、温度モニターなど、エッチングガス制御機能を豊富に備えています。INDY B Lは、半導体業界の幅広い用途に優れたエッチング性能を提供するように設計されています。高速、高精度、信頼性の高いエッチングプロセスを提供することができます。さらに、プロセス制御の自動化により、高スループットのアプリケーションに適しています。
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