中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9235796 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、マイクロエレクトロニクスの製造に使用されるアッシャーとしても知られるエッチャーです。精密な形状で高品質なデバイス構造を作り出すことができる高度なエッチング装置です。これは、幅広いプロセス化学製品で薄い基板または厚い基板を処理するための高いスループット能力を備えています。TEL INDY B Lは、化学蒸着（CVD）チャンバーを備えており、酸化物や窒化物のエッチングを精度と精度で行うことができます。薄箔、シリコンウエハー、硬質パネルなど多種多様な基板用に設計されています。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、直感的な7 インチLCDタッチスクリーンを備えた高度なユーザーインターフェースを備えており、プロセスレシピをすばやく簡単に入力できます。さらに、信頼性の高いトラックマシンを搭載し、正確なウェーハ転送を実現しています。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lは、化学機械研磨（CMP）、浅溝絶縁（STI）、金属ゲートエッチングなどのエッチング用途に適しています。このツールは、異なる幅と深さのビアとトレンチ、および0。2ミクロンの小さなエッチングされたライン幅を処理することができます。さらに、TEL INDY B-Lは、100 W〜1。2 kWの出力を持つRF ICP （Inductively Coupled Plasma）ソースを介して生成される高性能プラズマを内蔵しています。さらに、INDY B Lは、最適化されたプロセスパラメータを利用しながら、異なるゾーンの異なる材料を処理するのに役立つマルチゾーンアセットを備えています。また、デュアルチャンバーバッチエッチング用の4チャンバ加工モデルも付属しています。この装置は、最適化されたガス供給および供給システムを誇り、プロセス化学物質の急速な排気を可能にし、処理時間を短縮します。トーキョーエレクトロンIndy -B-Lは、オペレータと生産保証のためのさまざまな安全機能を備えています。圧力、温度、流量、マスク温度などの各種モニターやセンサー、チャンバー圧力モニタを搭載し、プロセスの安定性を確保しています。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lには、ESDによる損傷から回路を保護する専用のESD （Electro Static Discharge）ユニットが搭載されています。結論として、TEL Indy-B-Lは、優れたユーザーインターフェース、広い基板互換性、可変プラズマ出力、堅牢な安全機能を備えた高度なエッチングマシンです。CMP、 STI、金属ゲートエッチングなどのマイクロエレクトロニクスエッチング用途に最適で、精度0。2ミクロンまでの精密なデバイス構造を生成できます。