中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9140988 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、最新の最先端技術を駆使し、精密な半導体処理結果を提供する完全自動エッチャーおよびアッシャーです。TEL INDY B Lは、従来の手動エッチング方式とは異なり、温度、化学濃度、気流などのパラメータを正確に調整し、クリーンで高品質なエッチングを実現する高度な制御システムを備えています。効率的なウェーハクレンジングとエッチング機能を備えた東京エレクトロンINDY B-Lは、幅広い用途に対応する最先端の半導体基板の加工に最適です。TEL Indy-B-Lは、エッチング処理に使用されるオンボードプロセスキャビネットを備えています。このキャビネットには、クリーンで高品質な結果を得るために必要な正確な圧力、温度、濃度、流量を設定するためのガス調整ノブが装備されています。統合された真空ポンプはエッチングプロセスの部屋からのガス状の化学薬品の効率的な避難を提供します。レーザー干渉計を使用してウェハの厚さを測定し、それに応じてガスパラメータを調整し、最大の表面精度を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、精密なエッチング結果を得るために、エッチング工程を通じて均一で一貫した加熱を提供する2つの加熱素子を備えています。最高の均等性のために、上部の発熱体に完全なウエハの表面積の間で望ましい温度を維持するのを助ける正確に定義された空気ギャップがあります。INDY B Lは、インテリジェントなヒートモニター装置を備えており、加熱の変化を詳細に監視します。TEL INDY B-Lは、安全な環境を維持するために、空気中の不純物を効率的に除去し、安全でクリーンなエッチングを可能にする高性能ドライガス浄化システムを搭載しています。二重密封されたドアは最高の安全および清潔を保障している間有害な気体の化学薬品の脱出を防ぎます。さらに、排気の安全装置は急速な圧力上昇を検出し、潜在的な害からユニットを保護するための即時の救助を提供します。INDY B-Lは、強力な数値制御ツールとデータ分析機能を備えた高性能で多層的なCPUコンピューティングマシンで動作します。これは、ユーザーフレンドリーなディスプレイにリンクし、便利なパラメーター編集、ライブモニタリング、およびエッチングとアッシングのすべてのプロセスを完全に制御することができます。アセットにはフェイルセーフ自動シャットダウンプロトコルも装備されており、不規則性が検出された場合に自動的にシャットダウンされます。洗練された制御システムと高度なパージング技術を組み合わせることで、半導体エッチングとアッシングの精度と信頼性を求めるユーザーに最適です。