中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9137329 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体産業のウェーハ製造用に特別に設計されたエッチャーです。酸化物等をウェーハに転送するために使用され、ユーザーはそのような材料のパターンを正確に定義することができます。TEL INDY B Lは、最大8インチウェーハまたは最大16インチウェーハを自動化された環境で処理できます。TOKYO ELECTRON INDY B-Lのエッチング処理には、酸化物を高い速度でウェーハに伝達する技術であるDRIE （Deep Reactive Ion Etching）を使用しています。このエッチング方法は、半導体製造プロセスの要件を満たすために、幅広いプロセス柔軟性と精密制御を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、酸化物蒸着およびエッチング条件を指定するための高度なオートプロセッサ機能を搭載しています。これにより、ユーザーのニーズに応じた高速プロセス制御と調整が可能になります。Indy-B-Lは、ウェーハ輸送機構、ウェーハホルダー、高周波マイクロ波発電機、安全インターロック、ガス供給装置およびその他のコンポーネントで構成されています。高性能に設計されており、酸素への曝露を最小限に抑えるための真空チャンバーや、酸素分子を励起し、他の化学物質と反応させるための高周波発生装置などの機能を備えています。INDY B Lにまたオペレータを、また区域の他の人々保護するように設計されているさまざまな安全機能があります。これらの安全機能には、酸素センサーとユニットが所定のしきい値を超える領域で動作するのを防ぐインターロックシステムが含まれます。エッチング機能に加え、TEL INDY B-Lも魅力的なデザインです。エッチングチャンバーは、小さなフォームファクタを備えており、騒音を大幅に低減し、振動を最小限に抑えるように設計されたさまざまな材料で作られています。全単位は容易な取付けのために設計され、TEL Service NetのLN2機械と互換性があります。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lは、多くの既存および新興アプリケーションに信頼性の高いエッチングソリューションを提供し、あらゆる半導体製造プロセスに対応した汎用性の高いソリューションです。その高度な機能、安全対策、魅力的なデザインは、さまざまなアプリケーションに理想的なエッチングツールです。