中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293825598 を販売中

ID: 293825598
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Furnace, 12" Process: Poly 2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体業界でよく使われるエッチャー/アッシャーツールです。この高度なツールは、金属とポリマーの両方の材料のすべてのタイプのエッチングを容易にするように設計されたワークホースです。TEL INDY B Lは、エッチング工程においてスループット、精度、信頼性を向上させる様々な機能を提供します。このツールには、2つの独立したプラズマ源が装備されており、拡張領域での均一なエッチングが可能です。この機能により、エッチングはソースからの介入のない動きで素早く完了できます。東京エレクトロンINDY B-Lには、プログラマブルロジックコントローラ(PLC)も内蔵しています。これにより、リアクティブなレシピとエッチングシーケンスを機械にアップロードして、あらゆる材料のエッチング処理を高速化できます。このツールは、エッチングされる材料に応じて調整できる幅広いエッチングパラメータで設計されています。これらの調整はすべて、独立したコンソール表示からアクセスできる直感的なボタンパネルを介して行われます。これにより、エッチングを正確に制御し、高品質な仕上がりを保証します。TEL Indy-B-Lには、エッチングパラメータを調整する自動熱補償機能も搭載しています。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lは、アルミニウム、銅、タングステンなどの金属や、ポリメチルメタクリレートやポリイミドなどのポリマーなど、さまざまな材料をエッチングすることができます。また、ウェーハや基板マウント、パッケージングプロセスのエッチングにも使用できます。TOKYO ELECTRON INDY B Lは、半導体業界で使用されるさまざまな材料をエッチングするための信頼性と効率性の高いツールです。2つの独立したプラズマ源、直感的なボタンパネル、および自動熱補償により、高品質の結果を得るための均一で正確なエッチング処理が保証されます。
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