中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293825595 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、エッチングとアッシングの幅広いプロセスに使用できるように設計されたエッチャー/アッシャーです。ラボと生産アプリケーションの両方に使用できるエッチャー/アッシャーです。装置はコントローラ、ガスキャビネット、エッチングチャンバー、クランプで構成されています。ガスキャビネットには、エッチングおよびアッシング工程で使用されるガスが含まれており、クランプを介してチャンバーに接続されています。コントローラはデジタルおよびアナログ入出力回路を内蔵しており、エッチングおよびアッシング処理のために調整できるパラメータが含まれています。温度、圧力、およびその他の条件のパラメータを調整して、特定のアプリケーションに正確なエチャルまたは灰を作成できます。エッチングチャンバーでは、ウェットエッチングとアッシングプロセスの両方を使用できます。ウェットエッチングには、金属または半導体材料の表面にウェットケミカルを使用してエッチングを作成します。ウェットエッチング工程で使用される化学物質は、典型的には塩酸やフッ化水素などの水素ハロゲン化物です。アッシング工程では、乾燥エッチング工程で物理的および電気的浸食を使用して材料の表面をエッチングします。ドライエッチング工程では、CF2などのフッ素系ガスと酸素が豊富なプラズマを使用しています。TEL INDY B Lには複数の機能があります。このデバイスは、単一の基板上の1つまたは複数の層をエッチングするために使用できます。また、異なるパルス条件でエッチングを行う機能も備えています。このデバイスには、多層エッチング用のフィクスチャと可動サポートフレームが内蔵されています。また、エッチング深度とエンドポイント用の連続監視システムも含まれています。さらに、複数のエッチングチャンバーサイズが用意されているため、広範囲の処理と柔軟なエッチングレートが可能です。最後に、TOKYO ELECTRON INDY B-Lには数多くの安全機能があります。これらには、複数のレベルのロックアウト制御、プロセス前後のエチャントの自動パージ、および外部インターロックシステムが含まれます。これらの機能はすべて、TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lを信頼性の高い安全なエッチング・アッシング・システムとしています。