中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293810874 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体デバイス製造用の高精度エッチャーまたはアッシャーです。このウェットエッチプロセスツールは、あらゆる半導体ウェーハ上の誘電体および金属膜の超精密エッチングを可能にします。厚さ0。375 μ mまでのエッチングが可能で、信頼性の高いプロファイル精度は± 0。2 μ mです。TEL INDY B Lは、多数のレシピに対して高い加工精度と効率的な操作性を備えています。エッチングプロセスは、ほとんどがインタラクティブで、プロセス制御ソフトウェアによって導かれています。その部屋は内部的に一貫した圧力エッチングのための圧力を急激にそして均一に減らすように設計されています。また、気体循環型熱交換器を採用し、安定した温度を確保しています。東京エレクトロンINDY B-Lは、± 2°C以下のウェーハ温度均一性を誇り、また、エッチング結果を現場でモニタリングするための2つの観測ポートを備えています。ウェーハの回転速度は500rpm〜5000rpmの範囲で、正確なエッチングが可能です。フロントサイドソースには、高周波電圧を生成するアンプが内蔵されており、精密なエッチング制御のためにエッチング化学の変動を誘導します。ソースにはオートチューニング機能も搭載しており、エッチングされる素材やエッチング条件に基づいてソースパラメータを自動的に最適化することができます。TEL Indy-B-Lの特別な安全機能には、非常用ベントバルブ、統合型ドリップパン、および組み込みの酸収集および中和システムが含まれます。全体として、半導体デバイスの製造に非常に信頼性が高く、費用対効果が高く、正確なエッチング処理を提供します。